一种压电陶瓷-基体一体化驱动器
摘要:
本发明属于微型压电驱动器领域,提供了一种压电陶瓷‑基体一体化驱动器包括压电陶瓷、下电极、基体、分区上电极。基体上部分布齿形结构,底部为平面。下电极制备在基体底部。压电陶瓷通过电流体喷印技术直接将压电陶瓷喷印至下电极表面,通过高温共烧技术使基体、下电极和压电陶瓷形成无界面的整体,实现压电陶瓷和基体的一体化体系。分区上电极制备在压电陶瓷表面。本发明避免了传统压电驱动器中压电陶瓷粘接精度受限、工艺复杂等问题以及胶结层的结合强度差、对振动传递有损耗等问题,显著提高了压电陶瓷和基体的结合强度,并提高了驱动器的驱动性能和长期可靠性,实现了微型化、大驱动力的驱动器制造。
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