发明公开
- 专利标题： 处理配件环适配器
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申请号： CN202080036999.9申请日： 2020-05-20
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公开(公告)号： CN113853673A公开(公告)日： 2021-12-28
- 发明人: L·沃尔福夫斯基 , A·施密特 , D·M·库萨 , N·M·科佩奇 , S·巴巴扬 , D·R·麦考利斯特 , H·李 , J·胡金斯 , D·K·考克斯
- 申请人： 应用材料公司
- 申请人地址： 美国加利福尼亚州
- 专利权人： 应用材料公司
- 当前专利权人： 应用材料公司
- 当前专利权人地址： 美国加利福尼亚州
- 代理机构： 上海专利商标事务所有限公司
- 代理商 侯颖媖; 张鑫
- 优先权： 16/417,369 20190520 US
- 国际申请： PCT/US2020/033774 2020.05.20
- 国际公布： WO2020/236916 EN 2020.11.26
- 进入国家日期： 2021-11-18
- 主分类号： H01L21/683
- IPC分类号： H01L21/683 ; H01L21/687 ; H01L21/673 ; H01L21/677 ; H01L21/68 ; B25J15/06 ; B25J18/00
摘要：
一种处理配件环适配器，包括刚性载体。刚性载体包括上表面和下表面。上表面包括第一远侧部分和第二远侧部分以支撑处理配件环。下表面包括第一区域和实心平面中央区域，第一区域与被配置为支撑晶片的终端受动器对接，实心平面中央区域与真空吸盘对接。
公开/授权文献
- CN113853673B 处理配件环适配器和更换处理配件环的方法 公开/授权日：2022-12-27
IPC分类:
