本发明提供一种铜硅系催化剂及其制备方法，所述铜硅系催化剂中包括：载体和活性组分；其中，所述活性组分为硅‑铜系多元合金，所述硅‑铜系多元合金中包括Cu元素和Si元素，还包括M元素，所述M元素指Cr、Ni、Mo、Ti、Zr、Ce、La、Sc中的至少一种。本发明中的铜硅系催化剂的活性组分晶粒细小，有效增加界面缺陷活性中心和硅‑铜相界面。所述催化剂应用于冷氢化反应过程中，四氯化硅直接与催化剂中的活性组分硅‑铜相发生反应，使得催化反应时间大幅缩短，因而可以有效的提高催化反应速率及转化率。