本发明公开了一种基于先验信息的规则晶片定位方法，具体步骤如下：第一步骤、晶片初始位置的定位，定位出晶圆上所有晶片的初始位置；第二步骤、选择固定的拍照方式，拍摄多张图像，多张图像的晶片区域有重叠；第三步骤、按照第一步骤中定位的晶片初始位置，选择每块晶片的起点拍摄位置，然后按照第二步骤中的固定拍照方式进行拍照；第四步骤、选取一组图像作为模板，根据每幅图像上晶片的信息来提取一定的先验信息，后面其他的晶片采用模板的先验信息去定位。该基于先验信息的规则晶片定位方法，具有在图像精度满足需求的小视野图像中准确定位出晶片位置的优点。