发明授权
摘要:
本发明属于三维原子探针设备领域,具体的说是一种用于安装时转移硅片的推拉式转移台,包括固定器;所述固定器顶端固定连接有圆盘,所述圆盘的顶端固定安装有铜夹子,所述固定器的顶端放置有转移台本体,所述转移台本体的一侧呈弧形,所述转移台本体的顶端开设有凹槽,所述转移台本体的一侧螺纹连接有丝杆;通过使用镊子将硅片安放到凹槽内,然后将转移台本体安放到固定器上,并且让转移台本体的弧形面与圆盘贴合,此时凹槽会与铜夹子处于同一水平面,然后转动丝杆,使得丝杆带动推板进行滑动,从而使推板推动凹槽内的硅片,此时硅片会借助推板的推力被放置到铜夹子上,起到了对硅片进行放置的作用,提高了对硅片安放的安全效率。
公开/授权文献
- CN114217098A 一种用于安装时转移硅片的推拉式转移台 公开/授权日:2022-03-22