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公开(公告)号：CN114217098B
公开(公告)日：2024-04-30
申请号：CN202111528433.0
申请日：2021-12-14
申请人： 南京理工大学
IPC分类号： G01Q60/38
摘要： 本发明属于三维原子探针设备领域，具体的说是一种用于安装时转移硅片的推拉式转移台，包括固定器；所述固定器顶端固定连接有圆盘，所述圆盘的顶端固定安装有铜夹子，所述固定器的顶端放置有转移台本体，所述转移台本体的一侧呈弧形，所述转移台本体的顶端开设有凹槽，所述转移台本体的一侧螺纹连接有丝杆；通过使用镊子将硅片安放到凹槽内，然后将转移台本体安放到固定器上，并且让转移台本体的弧形面与圆盘贴合，此时凹槽会与铜夹子处于同一水平面，然后转动丝杆，使得丝杆带动推板进行滑动，从而使推板推动凹槽内的硅片，此时硅片会借助推板的推力被放置到铜夹子上，起到了对硅片进行放置的作用，提高了对硅片安放的安全效率。
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公开(公告)号：CN117491689A
公开(公告)日：2024-02-02
申请号：CN202311526300.9
申请日：2023-11-16
申请人： 南京理工大学
摘要： 本发明涉及材料测试样品制备技术领域，具体为一种三维原子探针样品原位加工制备方法，所述方法包括以下步骤：S1、在硅片表面用扫描电子显微镜寻找到感兴趣区域镀上Pt保护层；S2、使用激光对感兴趣区周围区域进行刻蚀，得到独立分布在硅片上的多个粗柱状样品；S3、使用聚焦离子束对粗柱状样品进行切除，得到细柱状样品；S4、对细柱状样品顶部加工直至达到环切直径要求；S5、对细柱状样品进行环切，得到三维原子探针样品。通过采用在硅片上原位加工的方式，可以省去纳米手提落样品的步骤，减少试样掉落的概率的同时，避免了迁移样品的过程中可能出现的污染，从而提高了样品制备成功率。
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公开(公告)号：CN115932327A
公开(公告)日：2023-04-07
申请号：CN202211561670.1
申请日：2022-12-07
申请人： 南京理工大学
IPC分类号： G01Q30/20
摘要： 本发明涉及电解抛光技术领域，具体为一种针对三维原子探针样品的闪抛装置，所述针对三维原子探针样品的闪抛装置包括：电源一，所述电源一的阳极连接浸泡在电解液中的三维原子探针样品，阴极连接环形电极；电源二，所述电源二用于向计时器供电，所述计时器用于控制所述电源一的闪抛时长。针对三维原子探针样品的闪抛装置可以去除电解抛光样品表面污染层或者氧化层，去除由于FIB环切带来的Ga离子影响层，通过计时器设定极短的抛光时间，每次抛光对样品的损耗很小，所以结合透射电子显微镜观察，可以轻松定位并抛光到自己感兴趣和想分析的区域。
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公开(公告)号：CN110850116B
公开(公告)日：2022-05-13
申请号：CN201911087956.9
申请日：2019-11-08
申请人： 南京理工大学
摘要： 本发明属于材料制备领域，特别是一种翻转式制备三维原子探针样品的方法。包括具体如下步骤：标记平面块状样品的感兴趣区域；在平面块状材料上表面，垂直于感兴趣区域方向沉积一层长方形Pt层；提取类四棱柱长条样品：采用原位纳米操纵杆进行提取；翻转类四棱柱长条样品：将步骤3提取的类四棱柱长条样品转移至转动针尖上，采用外置的转动装置将针尖翻转，然后再将翻转后的类四棱柱长条样品转移至原位操作纳米操纵杆上；成形针尖样品。本申请通过将类四棱柱长条样品翻转180°后成尖，实现对多层结构材料和感兴趣区域距离表面较深的材料的针尖制备，所制备的针尖样品利于在三维原子探针设备中正常收集。
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公开(公告)号：CN109261646B
公开(公告)日：2022-04-01
申请号：CN201810917874.1
申请日：2018-08-13
申请人： 南京理工大学
IPC分类号： B08B7/00
摘要： 本发明公开了一种利用聚焦离子束清理三维原子探针近局域电极的方法，方法包括：将三维原子探针近局域电极装于聚焦离子束样品台上，将带三维原子探针近局域电极的样品台放置在聚焦离子束中；在聚焦离子束中，倾转样品台，调整成像补偿角度，调整工作距离；将要切的三维原子探针近局域电极在FIB图像模式下对齐到最中心；将FIB的环切环的外环与三维原子探针近局域电极中心环上的突起缺陷的根部对齐，内环与中心环上突起缺陷的顶端边缘对齐，环切到三维原子探针近局域电极环表面无杂质。本发明提供的清理方法，通过聚焦离子束清理局域电极，实现了三维原子探针近局域电极的彻底清理，尤其是内部的彻底清理，节约了成本。
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公开(公告)号：CN110346271A
公开(公告)日：2019-10-18
申请号：CN201910662035.4
申请日：2019-07-22
申请人： 南京理工大学
摘要： 本发明属于材料抗辐照损伤领域，特别是一种利用梯度结构筛选耐辐照损伤材料的方法。包括如下步骤：步骤(1)：制备梯度结构材料；步骤(2)：对梯度结构材料具有不同晶粒尺寸的表面进行辐照实验；步骤(3)：对辐照后的材料，在不同晶粒尺寸大小的区域，利用纳米压痕和汇聚离子束对不同晶粒尺寸区域的样品进行力学性能测试及微观组织结构表征样品的自动制备。步骤(4)：进行透射电镜和三维原子探针分析。本发明通过这种方法可以实现在一块样品上制造出不同的晶粒尺寸,之后再进行辐照实验,从而可以减少研究不同晶粒大小对于辐照损伤影响所需样品数量,同时提高在进行微观结构表征的制备样品的效率，提高筛选耐辐照损伤材料的效率。
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公开(公告)号：CN109813586B
公开(公告)日：2024-08-30
申请号：CN201910145691.7
申请日：2019-02-27
申请人： 南京理工大学
IPC分类号： G01N1/28
摘要： 本发明涉及聚焦离子束双束仪器样品制备领域，具体涉及一种轴向旋转装置。装置包括：转移针尖：用于转移样品；转移针尖夹持台：用于夹持转移针尖，转移针尖在转移针尖夹持台中可轴向旋转设置；旋转主轴：前端设置呈倒“T”型槽，转移针尖固定在所述槽中；旋转手柄：与旋转主轴连接，带动旋转主轴转动，从而带动转移针尖转动。本发明装置通过将针尖固定于旋转主轴上并旋转旋转手柄来旋转针尖，由角度控制台精确控制旋转角度，且角度控制台与旋转主轴通过螺纹连接，保证了转转的稳定，整个装置满足了在聚焦离子束双束仪器制备样品过程中任意方向制样的现实需求，增大聚焦离子束双束仪器制样技术的灵活度，突破了现阶段的标准取样方法。
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公开(公告)号：CN114392985B
公开(公告)日：2023-10-10
申请号：CN202210060261.7
申请日：2022-01-19
申请人： 南京理工大学
IPC分类号： B08B7/00 , B08B13/00 , G01N23/2251
摘要： 本发明属于材料领域，具体的说是一种利用特斯拉线圈清理三维原子探针近局域电极的方法，该方法包括如下步骤：S1：首先将三维原子探针近局域电极从三维原子探针设备上取下，然后使用夹持器械将三维原子探针近局域电极固定在清理工作台上；S2：其次将特斯拉线圈尖端对准近局域电极微孔，留有1‑3mm的距离；S3：检查特斯拉线圈、三维原子探针近局域电极正常后，给特斯拉线圈接通电源；通过方法步骤的设计,实现了利用特斯拉线圈尖端产生高压电火花对三维原子探针近局域电极表面脏污进行熔融处理，实现表面高效率清洁的功能，解决了聚焦离子束清洁成本高降低使用寿命的问题，提高了三维原子探针近局域电极清洁的效率。
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公开(公告)号：CN114217098A
公开(公告)日：2022-03-22
申请号：CN202111528433.0
申请日：2021-12-14
申请人： 南京理工大学
IPC分类号： G01Q60/38
摘要： 本发明属于三维原子探针设备领域，具体的说是一种用于安装时转移硅片的推拉式转移台，包括固定器；所述固定器顶端固定连接有圆盘，所述圆盘的顶端固定安装有铜夹子，所述固定器的顶端放置有转移台本体，所述转移台本体的一侧呈弧形，所述转移台本体的顶端开设有凹槽，所述转移台本体的一侧螺纹连接有丝杆；通过使用镊子将硅片安放到凹槽内，然后将转移台本体安放到固定器上，并且让转移台本体的弧形面与圆盘贴合，此时凹槽会与铜夹子处于同一水平面，然后转动丝杆，使得丝杆带动推板进行滑动，从而使推板推动凹槽内的硅片，此时硅片会借助推板的推力被放置到铜夹子上，起到了对硅片进行放置的作用，提高了对硅片安放的安全效率。
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公开(公告)号：CN109346391B
公开(公告)日：2020-10-30
申请号：CN201810977038.2
申请日：2018-08-26
申请人： 南京理工大学
摘要： 本发明涉及一种用于装载近局域电极的聚焦离子束/扫描电镜双束系统样品台。该样品台包括：样品台主体，燕尾形样品槽，方形卡槽，内六角紧定螺钉以及固定杆，固定杆与样品台主体底部垂直。样品台主体内设置有燕尾形样品槽；燕尾形样品槽用于装载近局域电极；燕尾槽底部设置有方形卡槽，方形卡槽用于卡紧近局域电极底部的销钉；内六角紧定螺钉通过方形卡槽顶住近局域电极底部的销钉以进一步固定近局域电极；固定杆用于连接聚焦离子束/扫描电镜双束系统旋转底座。在该发明的使用过程中，样品台与近局域电极依靠机械固定，能有效防止近局域电极的移动，使其工作稳定可靠，有效提高设备效率。
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