薄膜晶体管、薄膜晶体管的制备方法和显示器件
摘要:
本发明的实施例提供了一种薄膜晶体管、薄膜晶体管的制备方法和显示器件,涉及半导体电子器件领域,该薄膜晶体管及其制备方法在衬底上依次设置栅极、栅绝缘层和半导体层,然后在半导体层的两侧设置源极和漏极,并在半导体层上设置包覆在源极和漏极的钝化层,其中,源极与半导体层的接触界面形成有第一绝缘界面层,在漏极和半导体层的接触界面形成有第二绝缘界面层,通过设置第一绝缘界面层和第二绝缘界面层,能够使得源漏极与半导体层之间形成肖特基势垒,从而形成了肖特基势垒TFT,同时无需额外沉积绝缘层,使得器件成本低廉、可靠性好,并通过形成肖特基势垒能够大幅降低饱和电压,从而减少TFT的工作能耗。
IPC分类:
H 电学
H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件(使用半导体器件的测量入G01;一般电阻器入H01C;磁体、电感器、变压器入H01F;一般电容器入H01G;电解型器件入H01G9/00;电池组、蓄电池入H01M;波导管、谐振器或波导型线路入H01P;线路连接器、汇流器入H01R;受激发射器件入H01S;机电谐振器入H03H;扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R;一般电光源入H05B;印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K;在具有特殊应用的电路中使用的半导体器件见应用相关的小类)
H01L29/00 专门适用于整流、放大、振荡或切换,并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的半导体器件;具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒,例如PN结耗尽层或载流子集结层的电容器或电阻器;半导体本体或其电极的零部件(H01L31/00至H01L47/00,H01L51/05优先;除半导体或其电极之外的零部件入H01L23/00;由在一个共用衬底内或其上形成的多个固态组件组成的器件入H01L27/00)
H01L29/66 .按半导体器件的类型区分的
H01L29/68 ..只能通过对一个不通有待整流、放大或切换的电流的电极供给电流或施加电位方可进行控制的(H01L29/96优先)
H01L29/76 ...单极器件
H01L29/772 ....场效应晶体管
H01L29/78 .....由绝缘栅产生场效应的
H01L29/786 ......薄膜晶体管
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