- 专利标题： 晶棒断线监测方法、存储介质、终端和拉晶设备
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申请号： CN202210033282.X申请日： 2022-01-12
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公开(公告)号： CN114369868B公开(公告)日： 2022-11-18
- 发明人: 孙靖 , 杨君 , 董志文 , 何开振 , 庄再城 , 胡方明 , 纪步佳 , 杨国炜 , 马旭 , 曹葵康 , 薛峰
- 申请人： 苏州天准科技股份有限公司 , 苏州天准软件有限公司
- 申请人地址： 江苏省苏州市高新区科技城浔阳江路70号;
- 专利权人： 苏州天准科技股份有限公司,苏州天准软件有限公司
- 当前专利权人： 苏州天准科技股份有限公司,苏州天准软件有限公司
- 当前专利权人地址： 江苏省苏州市高新区科技城浔阳江路70号;
- 代理机构： 北京千壹知识产权代理事务所
- 代理商 王玉玲
- 主分类号： C30B15/26
- IPC分类号： C30B15/26 ; C30B29/06
摘要：
本发明提供了一种晶棒断线监测方法、存储介质、终端和拉晶设备，属于半导体量检测领域，方法包括图像采集并判定当前拉晶阶段、定位邻接面处光圈的目标区域R、提取目标轮廓、计算轮廓上取点并计算角度差、角度差比较，判定是否断线；本发明的方法通过轮廓线上的角度差与阈值对比判定晶棒是否断线，基于图像处理快速精确获取判定结果，为稳定拉晶状态提供了辅助判定依据，以此提高了拉晶质量，便于在半导体制造领域推广应用。
公开/授权文献
- CN114369868A 晶棒断线监测方法、存储介质、终端和拉晶设备 公开/授权日：2022-04-19
IPC分类:
