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公开(公告)号：CN114369868A
公开(公告)日：2022-04-19
申请号：CN202210033282.X
申请日：2022-01-12
申请人： 苏州天准科技股份有限公司 , 苏州天准软件有限公司
摘要： 本发明提供了一种晶棒断线监测方法、存储介质、终端和拉晶设备，属于半导体量检测领域，方法包括图像采集并判定当前拉晶阶段、定位邻接面处光圈的目标区域R、提取目标轮廓、计算轮廓上取点并计算角度差、角度差比较，判定是否断线；本发明的方法通过轮廓线上的角度差与阈值对比判定晶棒是否断线，基于图像处理快速精确获取判定结果，为稳定拉晶状态提供了辅助判定依据，以此提高了拉晶质量，便于在半导体制造领域推广应用。
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公开(公告)号：CN114399489B
公开(公告)日：2022-11-25
申请号：CN202210033288.7
申请日：2022-01-12
申请人： 苏州天准科技股份有限公司 , 苏州天准软件有限公司
摘要： 本发明提供了一种拉晶过程中光圈直径的监测方法、存储介质和终端，属于半导体量检测领域，方法包括图像采集并判定当前拉晶阶段、根据拉晶阶段定位光圈区域R、提取目标轮廓、圆拟合、计算拟合圆的直径d,即为光圈直径；通过本方法可以对拉晶过程不同阶段的炉内图像实时采集并监测光圈直径，为稳定拉晶状态提供了辅助判定依据，以此提高了拉晶质量，便于在半导体制造领域推广应用。
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公开(公告)号：CN114369868B
公开(公告)日：2022-11-18
申请号：CN202210033282.X
申请日：2022-01-12
申请人： 苏州天准科技股份有限公司 , 苏州天准软件有限公司
摘要： 本发明提供了一种晶棒断线监测方法、存储介质、终端和拉晶设备，属于半导体量检测领域，方法包括图像采集并判定当前拉晶阶段、定位邻接面处光圈的目标区域R、提取目标轮廓、计算轮廓上取点并计算角度差、角度差比较，判定是否断线；本发明的方法通过轮廓线上的角度差与阈值对比判定晶棒是否断线，基于图像处理快速精确获取判定结果，为稳定拉晶状态提供了辅助判定依据，以此提高了拉晶质量，便于在半导体制造领域推广应用。
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公开(公告)号：CN114387251B
公开(公告)日：2022-09-30
申请号：CN202210033284.9
申请日：2022-01-12
申请人： 苏州天准科技股份有限公司 , 苏州天准软件有限公司
摘要： 本发明提供了一种饱满点的监测方法、存储介质、终端和拉晶设备，属于半导体领域，方法包括采集图像、亮区域定位、阈值分割、状态判断，当判定为常态则计算常态饱满点突出外光圈距离d，当判定为非常态，则根据动态阈值分割算法检测得到非常态饱满点；拉晶设备包括炉体、旋转坩埚、拉晶单元、状态监测单元、加料器和控制器，根据饱满点维持时间判定是否可以进入后续引晶阶段，以此提供判定依据；本发明基于图像处理和距离计算，判定饱满点状态，以此实现实时的智能化监控拉晶动态，保证拉晶状态的稳定，并提高拉晶质量，便于在半导体制造领域推广应用。
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公开(公告)号：CN114688984A
公开(公告)日：2022-07-01
申请号：CN202210033295.7
申请日：2022-01-12
申请人： 苏州天准科技股份有限公司 , 苏州天准软件有限公司
摘要： 本发明提供了一种单双光圈的检测方法、存储介质、终端和拉晶设备，属于半导体领域，方法包括图像采集、单双光圈判定和单双光圈直径测量；拉晶设备包括炉体、旋转坩埚、拉晶单元、状态监测单元、加料器和控制器，控制器用于坩埚转速、拉晶绳运动、硅料熔态图像接收处理和加料需求的控制，并通过图像处理技术判断是否存在双光圈并计算光圈直径；本申请的方法简单有效，图像处理效率高，灵活设置的阈值对比判定双光圈的存在并测量其直径，为拉晶过程中晶棒的稳定成像提供了判定依据，便于在半导体制造领域推广应用。
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公开(公告)号：CN114399488A
公开(公告)日：2022-04-26
申请号：CN202210032064.4
申请日：2022-01-12
申请人： 苏州天准科技股份有限公司 , 苏州天准软件有限公司
摘要： 本发明提供了一种液口距的监测方法、存储介质、终端和拉晶设备，属于半导体领域，方法包括采集图像并判定当前拉晶阶段、根据ROI框选目标区域R、对目标区域R所在图框提取横向中分线、计算横向中分线上所有点的灰度值Vg、求横向中分线上所有点灰度值的一阶导数V′g、根据一阶导数V′g筛选出边界点，根据像素距离L′、物理距离L计算两边界点的距离作为液口距；方案基于灰度值变化的一阶导数，获得变化点的精确位置，从而精确计算液口距，通过监测精确的液口距变化，保证拉晶状态的稳定，提高拉晶质量，便于在半导体制造领域推广应用。
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公开(公告)号：CN114351247A
公开(公告)日：2022-04-15
申请号：CN202210033285.3
申请日：2022-01-12
申请人： 苏州天准科技股份有限公司 , 苏州天准软件有限公司
摘要： 本发明提供了一种拉晶晃动监测方法、存储介质、终端和拉晶设备，属于半导体领域，方法包括采集图像并判定当前拉晶阶段、根据拉晶阶段定位区域R、提取目标轮廓、直线拟、计算晃动值S；拉晶设备包括炉体、旋转坩埚、拉晶单元、状态监测单元、加料器和控制器，拉晶单元根据晃动值S调整拉晶升降速度和转速，以保证拉晶稳定。本发明基于图像处理和直线拟合技术实时计算拉晶的晃动值，从而通过晃动值监测晶棒的状态，以此保证拉晶状态的稳定，并提高拉晶质量，便于在半导体制造领域推广应用。
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公开(公告)号：CN114399488B
公开(公告)日：2022-11-25
申请号：CN202210032064.4
申请日：2022-01-12
申请人： 苏州天准科技股份有限公司 , 苏州天准软件有限公司
摘要： 本发明提供了一种液口距的监测方法、存储介质、终端和拉晶设备，属于半导体领域，方法包括采集图像并判定当前拉晶阶段、根据ROI框选目标区域R、对目标区域R所在图框提取横向中分线、计算横向中分线上所有点的灰度值Vg、求横向中分线上所有点灰度值的一阶导数V′g、根据一阶导数V′g筛选出边界点，根据像素距离L′、物理距离L计算两边界点的距离作为液口距；方案基于灰度值变化的一阶导数，获得变化点的精确位置，从而精确计算液口距，通过监测精确的液口距变化，保证拉晶状态的稳定，提高拉晶质量，便于在半导体制造领域推广应用。
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公开(公告)号：CN114399489A
公开(公告)日：2022-04-26
申请号：CN202210033288.7
申请日：2022-01-12
申请人： 苏州天准科技股份有限公司 , 苏州天准软件有限公司
摘要： 本发明提供了一种拉晶过程中光圈直径的监测方法、存储介质和终端，属于半导体量检测领域，方法包括图像采集并判定当前拉晶阶段、根据拉晶阶段定位光圈区域R、提取目标轮廓、圆拟合、计算拟合圆的直径d,即为光圈直径；通过本方法可以对拉晶过程不同阶段的炉内图像实时采集并监测光圈直径，为稳定拉晶状态提供了辅助判定依据，以此提高了拉晶质量，便于在半导体制造领域推广应用。
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公开(公告)号：CN114387251A
公开(公告)日：2022-04-22
申请号：CN202210033284.9
申请日：2022-01-12
申请人： 苏州天准科技股份有限公司 , 苏州天准软件有限公司
摘要： 本发明提供了一种饱满点的监测方法、存储介质、终端和拉晶设备，属于半导体领域，方法包括采集图像、亮区域定位、阈值分割、状态判断，当判定为常态则计算常态饱满点突出外光圈距离d，当判定为非常态，则根据动态阈值分割算法检测得到非常态饱满点；拉晶设备包括炉体、旋转坩埚、拉晶单元、状态监测单元、加料器和控制器，根据饱满点维持时间判定是否可以进入后续引晶阶段，以此提供判定依据；本发明基于图像处理和距离计算，判定饱满点状态，以此实现实时的智能化监控拉晶动态，保证拉晶状态的稳定，并提高拉晶质量，便于在半导体制造领域推广应用。
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