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公开(公告)号：CN115235344B
公开(公告)日：2023-08-01
申请号：CN202210631487.8
申请日：2022-06-06
申请人： 苏州天准科技股份有限公司 , 苏州天准软件有限公司
IPC分类号： G01B11/02
摘要： 本发明提供的一种基于涡旋光束的测量系统及高度测量方法，属于光学测量与成像领域，测量系统包括多波长激光模块、测量光照模块、涡旋参考模块、对焦光学模块、图像采集模块、数据处理模块和外部输出模块；测量方法包括布置测量系统、样品信息采集和高度计算；通过本申请，基于涡旋光束空间相位分布特性，将高度值变化量转换为干涉图样绕光轴的旋转量，使用四步相移法求得旋转量，进而得到高度值变化量；相比于传统的短相干测量、投影差分测量等方法，此高度测量方案的数据量更小，采样频率更高，能够实现更高的时间分辨率；可以在半导体、芯片等需要高精测量和实时测量的领域推广应用。
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公开(公告)号：CN113074667B
公开(公告)日：2022-08-23
申请号：CN202110301467.X
申请日：2021-03-22
申请人： 苏州天准软件有限公司 , 苏州天准科技股份有限公司
IPC分类号： G01B11/25
摘要： 本发明公开了一种基于标志点的全局绝对相位对齐方法、存储介质和系统，方法适用于采用空间相位展开算法进行相位解包裹场合，系统采用该方法输出了三维信息，主要解决了如何对齐测量平面相位与投影仪像平面全局绝对相位的问题。主要步骤包括：在投射条纹图像时，额外投射一幅标志点图像；通过阈值分割、边缘提取、最小外接矩形方法，提取出标志点中心；根据已有的测量平面解包裹相位图，得到该测量平面上标志点位置的相位级次ki，(i＝1,2,3…)；已知在投影仪中，标志点处的全局绝对相位级次为j，记Δk＝j‑k，将测量平面解包裹相位图上所有像素点的条纹级次都加上Δk，即可使得测量平面相位与全局绝对相位对齐。本发明只需一幅标志点图像即可使得测量平面相位与全局绝对相位对齐，准确性高，兼具鲁棒性与效率。
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公开(公告)号：CN114688984A
公开(公告)日：2022-07-01
申请号：CN202210033295.7
申请日：2022-01-12
申请人： 苏州天准科技股份有限公司 , 苏州天准软件有限公司
摘要： 本发明提供了一种单双光圈的检测方法、存储介质、终端和拉晶设备，属于半导体领域，方法包括图像采集、单双光圈判定和单双光圈直径测量；拉晶设备包括炉体、旋转坩埚、拉晶单元、状态监测单元、加料器和控制器，控制器用于坩埚转速、拉晶绳运动、硅料熔态图像接收处理和加料需求的控制，并通过图像处理技术判断是否存在双光圈并计算光圈直径；本申请的方法简单有效，图像处理效率高，灵活设置的阈值对比判定双光圈的存在并测量其直径，为拉晶过程中晶棒的稳定成像提供了判定依据，便于在半导体制造领域推广应用。
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公开(公告)号：CN113074634B
公开(公告)日：2022-06-21
申请号：CN202110319931.8
申请日：2021-03-25
申请人： 苏州天准科技股份有限公司 , 苏州天准软件有限公司
摘要： 本发明提供了一种快速相位匹配方法、存储介质和三维测量系统，方法包括通过解相位算法，得到参考平面和物体表面的绝对相位图；遍历物体表面绝对相位图，取某个像素点，根据像素坐标确定对应的极线方程，得到参考相位图上的位相同名点的极线搜索范围；粗略搜索，得到匹配点的大概位置；精细搜索，得到匹配点的精确整数像素坐标；亚像素匹配点的插值计算，得到亚像素的位相同名点；获取全图的亚像素视差图，计算得到亚像素的视差，进而计算高度信息，用于三维重建。本方法和系统通过计算亚像素的相位匹配点提高了相位匹配的精度，同时极大地提高了三维重建的效率。
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公开(公告)号：CN114399488A
公开(公告)日：2022-04-26
申请号：CN202210032064.4
申请日：2022-01-12
申请人： 苏州天准科技股份有限公司 , 苏州天准软件有限公司
摘要： 本发明提供了一种液口距的监测方法、存储介质、终端和拉晶设备，属于半导体领域，方法包括采集图像并判定当前拉晶阶段、根据ROI框选目标区域R、对目标区域R所在图框提取横向中分线、计算横向中分线上所有点的灰度值Vg、求横向中分线上所有点灰度值的一阶导数V′g、根据一阶导数V′g筛选出边界点，根据像素距离L′、物理距离L计算两边界点的距离作为液口距；方案基于灰度值变化的一阶导数，获得变化点的精确位置，从而精确计算液口距，通过监测精确的液口距变化，保证拉晶状态的稳定，提高拉晶质量，便于在半导体制造领域推广应用。
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公开(公告)号：CN114351247A
公开(公告)日：2022-04-15
申请号：CN202210033285.3
申请日：2022-01-12
申请人： 苏州天准科技股份有限公司 , 苏州天准软件有限公司
摘要： 本发明提供了一种拉晶晃动监测方法、存储介质、终端和拉晶设备，属于半导体领域，方法包括采集图像并判定当前拉晶阶段、根据拉晶阶段定位区域R、提取目标轮廓、直线拟、计算晃动值S；拉晶设备包括炉体、旋转坩埚、拉晶单元、状态监测单元、加料器和控制器，拉晶单元根据晃动值S调整拉晶升降速度和转速，以保证拉晶稳定。本发明基于图像处理和直线拟合技术实时计算拉晶的晃动值，从而通过晃动值监测晶棒的状态，以此保证拉晶状态的稳定，并提高拉晶质量，便于在半导体制造领域推广应用。
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公开(公告)号：CN113674300A
公开(公告)日：2021-11-19
申请号：CN202110975050.1
申请日：2021-08-24
申请人： 苏州天准软件有限公司 , 苏州天准科技股份有限公司
摘要： 本发明提供一种用于CNC自动测量的模型训练方法、CNC自动测量方法及系统、终端设备、存储介质，该方法包括获取带有标签信息的图像样本，其中，所述图像样本包括CNC件图像，所述标签信息包括所述CNC件图像上对应标注的轮廓信息；基于所述图像样本训练分割模型；该模型训练方法基于CNC件图像及其对应标注的轮廓信息进行分割模型训练，在训练过程中进行多层卷积与池化操作得到深层语义特征，基于深层语义特征进行训练得到分割模型，提高模型训练的分割效果。
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公开(公告)号：CN113341970A
公开(公告)日：2021-09-03
申请号：CN202110608979.0
申请日：2021-06-01
申请人： 苏州天准科技股份有限公司 , 苏州天准软件有限公司
IPC分类号： G05D1/02
摘要： 本发明提供了一种智能巡检导航避障系统、方法、存储介质和巡检车，属于巡检机器人领域，系统包括高精地图模块、全局代价地图形成模块、激光点云获取模块、局部代价地图形成模块、故障感知信息模块和规划模块；由所述系统实施的方法包括获取全局代价地图和局部代价地图、设定全局路径、设定局部路径，最后将局部路径融合进全局路径，形成实时监测避障的规划路径。方法和系统通过全局代价地图融合实时监测生成的局部代价地图合成规划路径，减少了防跌落组件和方法，节省了成本，提高了路径规划的智能化。
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公开(公告)号：CN113340314A
公开(公告)日：2021-09-03
申请号：CN202110608204.3
申请日：2021-06-01
申请人： 苏州天准科技股份有限公司 , 苏州天准软件有限公司
摘要： 本发明提供了一种局部代价地图的生成方法、存储介质和智能无人巡检车，属于自动导航领域的点云地图构建技术。方法包括实时获取包含环境信息和位置矢量信息Vectormap的当前激光点云PClidar，坐标转换，确定感兴趣区域ROI，遍历当前激光点云PClidar中感兴趣区域ROI内的所有空间点pi，求取点云数量countmn，寻找点云数量countmn最大值记作count_max，位置矢量信息Vectormap转移到无人车基座base坐标下，得到Vectorbase，遍历当前局部代价地图Costlocal的所有位置，判定所有区域可通行情况进行标记，完成带有通行信息标记的局部代价地图Cost’local。本申请通过当前激光点云PClidar和当前感知障碍Obstaclelidar，可以实时高效的生产带有通行信息标记的局部代价地图Cost’local，提高了效率和精度，便于推广应用。
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公开(公告)号：CN113295698A
公开(公告)日：2021-08-24
申请号：CN202110473146.8
申请日：2021-04-29
申请人： 苏州天准软件有限公司 , 苏州天准科技股份有限公司
IPC分类号： G01N21/88
摘要： 本发明提供了一种缺陷检测方法、存储介质和检测系统，属于图像数据处理领域，可应用于半导体领域的表面缺陷检测，方法包括产品特征点定位、检测区提取、图像预处理、缺陷检测和缺陷筛选。图像预处理对提取的检测区区域进行增强或拉伸调节，将检测区的差异统计整体趋势自动调节在限制设定的范围之内，而缺陷检测则采用了粗检测和精检测，以此很好的解决了待测件间差异导致检测效果差、精度低的问题，可广泛推广至硅片崩边等瑕疵检测中。
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