- 专利标题: 一种具有超晶格电子阻挡层的小功率AlGaInP红光半导体激光器及其制备方法
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申请号: CN202011132600.5申请日: 2020-10-21
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公开(公告)号: CN114389151B公开(公告)日: 2024-01-02
- 发明人: 王朝旺 , 刘飞 , 张新 , 于军
- 申请人: 山东华光光电子股份有限公司
- 申请人地址: 山东省济南市历下区高新区天辰大街1835号
- 专利权人: 山东华光光电子股份有限公司
- 当前专利权人: 山东华光光电子股份有限公司
- 当前专利权人地址: 山东省济南市历下区高新区天辰大街1835号
- 代理机构: 济南金迪知识产权代理有限公司
- 代理商 韩献龙
- 主分类号: H01S5/34
- IPC分类号: H01S5/34 ; H01S5/343
摘要:
本发明提供一种具有超晶格电子阻挡层的小功率AlGaInP红光半导体激光器及其制备方法。该激光器由下至上依次包括衬底、缓冲层、下过渡层、Al0.5In0.5P下限制层、下波导层、第一量子阱、垒层、第二量子阱、上波导层、超晶格结构‑第一上限制层、腐蚀终止层、Al0.5In0.5P第二上限制层、上过渡层和帽层。本发明激光器能够有效的抑制电子溢出,缓解有源区应力,提高限制层材料生长质量;同时具有较高光限制因子,提高光增益,达到了降低阈值电流,提高斜率效率的目的,从而使小功率AlGaInP红光激光器具有较低的工作电流,减少了热量的产生。
公开/授权文献
- CN114389151A 一种具有超晶格电子阻挡层的小功率AlGaInP红光半导体激光器及其制备方法 公开/授权日:2022-04-22