一种改变半导体材料PN型的方法
Abstract:
一种改变半导体材料PN型的制备方法,涉及半导体材料领域。将硒化锌掺杂半导体沉积到基底表面形成半导体薄膜,通过控制制备条件,达到控制基片上半导体薄膜PN型的目的。制备过程中选择使用脉冲激光沉积技术完成薄膜的制备,基片选择使用石英玻璃。本发明的半导体材料通过脉冲激光沉积法来制备的,采用如下技术方案实现:先采用固体反应烧结法制备ZnSe0.4:Mo0.3:Ga0.3陶瓷靶材,再采用脉冲激光沉积法制备ZnSe:Mo:Ga薄膜,通过控制不同的制备条件,得到不同PN特性的半导体薄膜。本发明结晶质量好、表面光滑,具有纳米结构,能够实现同一块靶材通过控制制备条件改变其薄膜的PN型的目的。
Public/Granted literature
Patent Agency Ranking
0/0