一种对称叉指结构的2DEG紫外探测器及制备方法
Abstract:
本发明公开了一种对称叉指结构的2DEG紫外探测器及制备方法,属于半导体器件制造技术领域。所述紫外探测器从下而上依次包括:衬底层、AlN缓冲层、GaN沟道层、AlGaN势垒层和金属电极层。本发明采用具有对称叉指结构2DEG电极,利用AlGaN/GaN异质结构中的价带偏移,该界面上的空穴积累导致电子进入导带的势垒能降低,从而解决了传统器件结构紫外探测器的低响应和低量子效率的缺点,提高了响应度和增益,通过GaN断开2DEG导电通道,降低了器件的暗电流,提高了光暗电流比,有效地减少了响应时间、同时提升了器件灵敏度和信噪比。此外,本发明的制造工艺简单,便于单片集成,进而能够实现光学传感系统的芯片集成。
Public/Granted literature
IPC分类:
H 电学
H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件(使用半导体器件的测量入G01;一般电阻器入H01C;磁体、电感器、变压器入H01F;一般电容器入H01G;电解型器件入H01G9/00;电池组、蓄电池入H01M;波导管、谐振器或波导型线路入H01P;线路连接器、汇流器入H01R;受激发射器件入H01S;机电谐振器入H03H;扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R;一般电光源入H05B;印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K;在具有特殊应用的电路中使用的半导体器件见应用相关的小类)
H01L31/00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或设备;其零部件(H01L51/42优先;由形成在一共用衬底内或其上的多个固态组件,而不是辐射敏感元件与一个或多个电光源的结合所组成的器件入H01L27/00)
H01L31/08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31/10 ..特点在于至少有一个电位跃变势垒或表面势垒的,例如光敏晶体管
H01L31/101 ...对红外、可见或紫外辐射敏感的器件
H01L31/102 ....仅以一个势垒或面垒为特征的
H01L31/109 .....为PN异质结型势垒的
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