Invention Grant
- Patent Title: 一种对称叉指结构的2DEG紫外探测器及制备方法
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Application No.: CN202210244562.5Application Date: 2022-03-14
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Publication No.: CN114678439BPublication Date: 2023-07-25
- Inventor: 杨国锋 , 谷燕 , 谢峰 , 陆乃彦 , 陈国庆 , 张秀梅 , 蒋学成
- Applicant: 江南大学
- Applicant Address: 江苏省无锡市滨湖区蠡湖大道1800号
- Assignee: 江南大学
- Current Assignee: 江南大学
- Current Assignee Address: 江苏省无锡市滨湖区蠡湖大道1800号
- Agency: 哈尔滨市阳光惠远知识产权代理有限公司
- Agent 张勇
- Main IPC: H01L31/109
- IPC: H01L31/109 ; H01L31/0224 ; H01L31/0304 ; H01L31/18

Abstract:
本发明公开了一种对称叉指结构的2DEG紫外探测器及制备方法,属于半导体器件制造技术领域。所述紫外探测器从下而上依次包括:衬底层、AlN缓冲层、GaN沟道层、AlGaN势垒层和金属电极层。本发明采用具有对称叉指结构2DEG电极,利用AlGaN/GaN异质结构中的价带偏移,该界面上的空穴积累导致电子进入导带的势垒能降低,从而解决了传统器件结构紫外探测器的低响应和低量子效率的缺点,提高了响应度和增益,通过GaN断开2DEG导电通道,降低了器件的暗电流,提高了光暗电流比,有效地减少了响应时间、同时提升了器件灵敏度和信噪比。此外,本发明的制造工艺简单,便于单片集成,进而能够实现光学传感系统的芯片集成。
Public/Granted literature
- CN114678439A 一种对称叉指结构的2DEG紫外探测器及制备方法 Public/Granted day:2022-06-28
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