Invention Publication
- Patent Title: 一种制动机构及采用该制动机构的调角载台
-
Application No.: CN202210318975.3Application Date: 2022-03-29
-
Publication No.: CN114688183APublication Date: 2022-07-01
- Inventor: 不公告发明人
- Applicant: 苏州矽行半导体技术有限公司
- Applicant Address: 江苏省苏州市高新区培源路2号微系统园2号楼106室
- Assignee: 苏州矽行半导体技术有限公司
- Current Assignee: 苏州矽行半导体技术有限公司
- Current Assignee Address: 江苏省苏州市高新区培源路2号微系统园2号楼106室
- Agency: 北京千壹知识产权代理事务所
- Agent 王玉玲
- Main IPC: F16D49/10
- IPC: F16D49/10 ; F16D49/12 ; F16D65/06 ; H01L21/687 ; H01L21/68

Abstract:
本发明提供了一种制动机构及采用该制动机构的调角载台,属于高精密驱动载台领域,制动机构包括摩擦传动带、摩擦传动带支撑组件、刹车驱动滑座组件、制动器、摩擦滚轮和Z轴摩擦片;调角载台包括机架、侧边梁、晶圆载台、摩擦传动机构、X轴横梁、Y轴驱动组和X轴驱动组;X轴驱动组设置在X轴横梁与晶圆载台之间,驱动晶圆载台和摩擦传动机构同步的沿着X轴横梁横向移动,同时摩擦传动机构摩擦传动使得晶圆载台的载盘转动,从而调整晶圆角度;通过本发明的制动机构可以为主动或被动驱动的载台提供制动力,同时可提供转角调节,降低了成本,提高了整体性能,便于在带有运动台或载台的半导体量检测、高精加工领域中推广应用。
Public/Granted literature
- CN114688183B 一种制动机构及采用该制动机构的调角载台 Public/Granted day:2022-11-18
Information query
IPC分类: