一种制动机构及采用该制动机构的调角载台
Abstract:
本发明提供了一种制动机构及采用该制动机构的调角载台,属于高精密驱动载台领域,制动机构包括摩擦传动带、摩擦传动带支撑组件、刹车驱动滑座组件、制动器、摩擦滚轮和Z轴摩擦片;调角载台包括机架、侧边梁、晶圆载台、摩擦传动机构、X轴横梁、Y轴驱动组和X轴驱动组;X轴驱动组设置在X轴横梁与晶圆载台之间,驱动晶圆载台和摩擦传动机构同步的沿着X轴横梁横向移动,同时摩擦传动机构摩擦传动使得晶圆载台的载盘转动,从而调整晶圆角度;通过本发明的制动机构可以为主动或被动驱动的载台提供制动力,同时可提供转角调节,降低了成本,提高了整体性能,便于在带有运动台或载台的半导体量检测、高精加工领域中推广应用。
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