公开(公告)号：CN114413153B

公开(公告)日：2022-12-06

申请号：CN202210208090.8

申请日：2022-03-03

申请人： 苏州矽行半导体技术有限公司

发明人： 不公告发明人

IPC分类号： G06F1/16

摘要： 本发明提供了一种集成式电子设备支架及设备机箱,属于计算机设备的支撑架领域，集成式电子设备支架包括主梁、下支梁、斜置梁、转接板；在所述主梁、调节件、显示器转接架和键盘鼠标载板上均设置吸振件，通过转接板将集成式电子设备支架连接至机箱或固定台；设备机箱括箱体、集成式外延支架和启动锁；通过集成式电子设备支架可以很好的满足外悬显示器及键盘鼠标的支撑，且整体具有吸振性能，符合人体工程学设计，便于在办公室、自动化工厂、智能工厂等需要对计算机支撑的设备箱体上安装应用。

公开(公告)号：CN114688183A

公开(公告)日：2022-07-01

申请号：CN202210318975.3

申请日：2022-03-29

申请人： 苏州矽行半导体技术有限公司

发明人： 不公告发明人

IPC分类号： F16D49/10 ,  F16D49/12 ,  F16D65/06 ,  H01L21/687 ,  H01L21/68

摘要： 本发明提供了一种制动机构及采用该制动机构的调角载台，属于高精密驱动载台领域，制动机构包括摩擦传动带、摩擦传动带支撑组件、刹车驱动滑座组件、制动器、摩擦滚轮和Z轴摩擦片；调角载台包括机架、侧边梁、晶圆载台、摩擦传动机构、X轴横梁、Y轴驱动组和X轴驱动组；X轴驱动组设置在X轴横梁与晶圆载台之间，驱动晶圆载台和摩擦传动机构同步的沿着X轴横梁横向移动，同时摩擦传动机构摩擦传动使得晶圆载台的载盘转动，从而调整晶圆角度；通过本发明的制动机构可以为主动或被动驱动的载台提供制动力，同时可提供转角调节，降低了成本，提高了整体性能，便于在带有运动台或载台的半导体量检测、高精加工领域中推广应用。

公开(公告)号：CN114884301B

公开(公告)日：2023-01-03

申请号：CN202210318968.3

申请日：2022-03-29

申请人： 苏州矽行半导体技术有限公司

发明人： 不公告发明人

IPC分类号： H02K33/18

摘要： 本发明提供了一种采用音圈电机的载台系统，属于高精机台领域，音圈电机的后封板、两个侧封板和前封板侧边首尾连接构成矩形空间以将定子和动子环绕设置；后封板或前封板用于连接至待消反力体或其底座上，电机定子安装件连接至固定的机架上；载台系统包括机架、侧边梁、晶圆载台、摩擦传动机构、X轴横梁、X轴驱动组、Y轴驱动组和消反力组件；消反力组件采用前述的音圈电机，用于对晶圆载台和摩擦传动机构横向力和相对于质心扭矩的抵消；通过本申请的方案，一方面能提供微调功能，其次也是主要的为载台或待消反力体提供消反力，以降低震动，保证了载台的精度和稳定性，便于在带有运动台的半导体量检测、高精加工领域中推广应用。

公开(公告)号：CN114695227A

公开(公告)日：2022-07-01

申请号：CN202210318969.8

申请日：2022-03-29

申请人： 苏州矽行半导体技术有限公司

发明人： 不公告发明人

IPC分类号： H01L21/68 ,  H01L21/677

摘要： 本发明提供了一种载台系统及采用该载台系统的晶圆驱动方法，属于半导体检测及加工设备领域；载台系统包括机架、侧边梁、晶圆载台、摩擦传动机构、X轴横梁、X轴驱动组、Y轴驱动组和消反力组件；消反力组件用于对晶圆载台和摩擦传动机构横向力和相对于质心扭矩的抵消；晶圆驱动方法包括晶圆上料、初始定位、定位校正、过程调整和晶圆下料；通过本方案可以为机台提供柔性支撑，载盘能够采用摩擦传动机构是此案低成本高精度的载件角度调节，并为机台上部件的滑移、转动等带来的振动提供惯性力和扭矩抵消的消反力组件，保证了系统的稳定性和精度，便于在晶圆、光伏硅片、显示屏等产品的高精稳定承载领域推广应用。

公开(公告)号：CN114683223A

公开(公告)日：2022-07-01

申请号：CN202210317587.3

申请日：2022-03-29

申请人： 苏州矽行半导体技术有限公司

发明人： 不公告发明人

IPC分类号： B25H1/00 ,  H01L21/687

摘要： 本发明提供了一种晶圆载台，属于高精机台领域，包括载台底脚、载台底座、载台上座、载台主轴、晶圆载盘、载盘刹车组件、主轴弹性支撑组件、回正叉组件和载台底面真空刹车组件；通过本方案，可以悬浮的柔性支撑晶圆、硅片等待检测或待加工件，达到高精悬浮支撑作用，保证了载台的精度和稳定性，便于在带有运动台的半导体量检测、高精加工领域中推广应用。

公开(公告)号：CN114683226B

公开(公告)日：2022-12-02

申请号：CN202210317570.8

申请日：2022-03-29

申请人： 苏州矽行半导体技术有限公司

发明人： 不公告发明人

IPC分类号： B25H1/14 ,  B25H1/00 ,  H01L21/687 ,  H01L21/68

摘要： 本发明提供了一种盘刹机构及晶圆载台，属于高精机台领域，盘刹机构包括交叠设置的底座刹车致动单元和载盘下接单元，底座刹车致动单元固定至底座上方，载盘下接单元从载盘的下方连接载盘；底座刹车致动单元用于致动吸合或分离载盘下接单元，以此实现载盘的刹车与否；晶圆载台包括载台主轴、载盘、载台底座、载台气浮地脚、载盘刹车组件、主轴弹性支撑组件和回正组件；盘刹机构设置在载台底座和载盘之间，用于载盘的被动刹车定位；通过本发明，对被动转动的载盘提供刹车定位功能，降低了成本，保证了载台的精度和稳定性，便于在带有运动台的半导体量检测、高精加工领域中推广应用。

公开(公告)号：CN114619411A

公开(公告)日：2022-06-14

申请号：CN202210318967.9

申请日：2022-03-29

申请人： 苏州矽行半导体技术有限公司

发明人： 不公告发明人

IPC分类号： B25H1/02 ,  B25H1/10 ,  B25B11/00

摘要： 本发明提供了一种柔性运动台及载台系统，属于高精机台领域，柔性运动台包括承载梁、端接头、气浮地脚、侧端气浮垫、侧端刹车垫、横向直线电机、纵向直线电机、距离传感器和偏移限位组件，横向直线电机和纵向直线电机用以在平面内驱动承载梁；多个距离传感器设置在端接头上，用以监测承载梁的位置；载台系统包括机架、侧边梁、晶圆载台、摩擦传动机构、X轴横梁、X轴驱动组、Y轴驱动组和消反力组件；柔性运动台被柔性支撑在机架和两个侧边梁之间；通过本申请的柔性运动台及载台系统，能够精确的柔性支撑、监测和调节承载梁的空间位置，保证载台系统的精度和稳定性，便于在带有运动台的半导体量检测、高精加工领域中推广应用。

公开(公告)号：CN114683227B

公开(公告)日：2023-01-06

申请号：CN202210318982.3

申请日：2022-03-29

申请人： 苏州矽行半导体技术有限公司

发明人： 不公告发明人

IPC分类号： B25H1/14 ,  B25H1/00 ,  H01L21/68 ,  H01L21/687

摘要： 本发明提供了一种晶圆载台，属于高精机台领域，回正叉机构包括限位叉、导轮轴、推板、活塞转接板、活塞杆、缸体和驱动缸转接板；导轮轴被活塞杆经活塞转接板和推板驱动的相对于限位叉上下运动；晶圆载台包括载台主轴、载盘、载台底座、载台气浮地脚、载盘刹车组件、主轴弹性支撑组件和回正组件；回正组件采用前述的回正叉机构，回正组件设置在载台底座和载盘之间，用于载盘的被动回正复位；通过本发明的回正叉机构和晶圆载台，可以悬浮的柔性支撑晶圆、硅片等待检测或待加工件，并对被动转动的载盘提供回正复位，降低了成本，保证了载台的精度和稳定性，便于在带有运动台的半导体量检测、高精加工领域中推广应用。

公开(公告)号：CN114688183B

公开(公告)日：2022-11-18

申请号：CN202210318975.3

申请日：2022-03-29

申请人： 苏州矽行半导体技术有限公司

发明人： 不公告发明人

IPC分类号： F16D49/10 ,  F16D49/12 ,  F16D65/06 ,  H01L21/687 ,  H01L21/68

摘要： 本发明提供了一种制动机构及采用该制动机构的调角载台，属于高精密驱动载台领域，制动机构包括摩擦传动带、摩擦传动带支撑组件、刹车驱动滑座组件、制动器、摩擦滚轮和Z轴摩擦片；调角载台包括机架、侧边梁、晶圆载台、摩擦传动机构、X轴横梁、Y轴驱动组和X轴驱动组；X轴驱动组设置在X轴横梁与晶圆载台之间，驱动晶圆载台和摩擦传动机构同步的沿着X轴横梁横向移动，同时摩擦传动机构摩擦传动使得晶圆载台的载盘转动，从而调整晶圆角度；通过本发明的制动机构可以为主动或被动驱动的载台提供制动力，同时可提供转角调节，降低了成本，提高了整体性能，便于在带有运动台或载台的半导体量检测、高精加工领域中推广应用。

公开(公告)号：CN114884301A

公开(公告)日：2022-08-09

申请号：CN202210318968.3

申请日：2022-03-29

申请人： 苏州矽行半导体技术有限公司

发明人： 不公告发明人

IPC分类号： H02K33/18

摘要： 本发明提供了一种音圈电机及载台系统，属于高精机台领域，音圈电机的后封板、两个侧封板和前封板侧边首尾连接构成矩形空间以将定子和动子环绕设置；后封板或前封板用于连接至待消反力体或其底座上，电机定子安装件连接至固定的机架上；载台系统包括机架、侧边梁、晶圆载台、摩擦传动机构、X轴横梁、X轴驱动组、Y轴驱动组和消反力组件；消反力组件采用前述的音圈电机，用于对晶圆载台和摩擦传动机构横向力和相对于质心扭矩的抵消；通过本申请的方案，一方面能提供微调功能，其次也是主要的为载台或待消反力体提供消反力，以降低震动，保证了载台的精度和稳定性，便于在带有运动台的半导体量检测、高精加工领域中推广应用。