本发明提供了一种晶圆夹具及电镀装置，晶圆夹具包括密封件、底座、支撑件以及定位锁定组件；定位锁定组件包括定位件、安装件及锁定件，定位件与密封件连接，安装件设置于底座上，密封件通过定位件和安装件的配合实现与底座的可拆卸连接；支撑件设置于密封件和底座之间，锁定件设置于支撑件上，当锁定件处于锁定状态，锁定件抵压定位件并使定位件无法相对安装件活动；当锁定件处于解锁状态，定位件可相对安装件活动。本发明通过上述设计，当需要拆卸密封件时，仅须操作锁定件使之切换至解锁状态即可；而当需要安装新的密封件，首先利用定位件和安装件的配合实现密封件和底座之间的定位安装，再操作锁定件使之切换至锁定状态即可，操作非常便捷。