本发明涉及薄膜制备的技术领域，尤其涉及一种高电阻温度系数铂薄膜及其制备方法。通过在氧化铝基底上沉积一层含氧铂薄膜层，并利用含氧铂薄膜层在后续热处理过程中发生的热分解、团聚和固态去湿过程，提高铂薄膜与氧化铝基底之间的结合力，同时由含氧铂薄膜热分解形成的孤立铂质点作为形核点，将促进后续沉积铂薄膜的再结晶与晶粒长大，经热处理后，即可获得具有高电阻温度系数和优良高温结构稳定性的铂薄膜。本发明制备的铂薄膜，电阻温度系数高，高温结构稳定性好，且结构与工艺简单，无需引入其他金属层或绝缘层作为粘附层或过渡层，是一种有效、经济和实用的方法，所制备的铂薄膜在高温铂薄膜传感器领域有广泛的应用前景。