发明授权
- 专利标题: 外延生长装置
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申请号: CN202210428945.8申请日: 2022-04-22
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公开(公告)号: CN114855271B公开(公告)日: 2024-10-11
- 发明人: 王树林 , 曹建伟
- 申请人: 浙江晶盛光子科技有限公司
- 申请人地址: 浙江省杭州市临平区经济技术开发区顺达路500号1幢105室
- 专利权人: 浙江晶盛光子科技有限公司
- 当前专利权人: 浙江晶盛光子科技有限公司
- 当前专利权人地址: 浙江省杭州市临平区经济技术开发区顺达路500号1幢105室
- 代理机构: 杭州华进联浙知识产权代理有限公司
- 代理商 高礼强
- 主分类号: C30B25/12
- IPC分类号: C30B25/12 ; C30B25/14 ; C30B25/16 ; C30B25/08
摘要:
本申请涉及外延生长装置,外延生长装置包括炉体,炉体设有反应腔,反应腔内分别设有水平设置的第一反应基座和第二反应基座,第一反应基座和第二反应基座沿着水平方向间隔设置。炉体还设有分别连通反应腔的第一进气部、第二进气部和出气部,第一反应基座设于第一进气部和出气部之间,第二反应基座设于第二进气部和出气部之间;反应介质能够分别通过第一进气部和第二进气部进入反应腔,并通过出气部离开反应腔。本申请提供的外延生长装置,解决了现有的外延炉的外延层产出效率过低的问题。
公开/授权文献
- CN114855271A 外延生长装置 公开/授权日:2022-08-05
IPC分类: