外延生长装置
摘要:
本申请涉及外延生长装置,外延生长装置包括炉体,炉体设有反应腔,反应腔内分别设有水平设置的第一反应基座和第二反应基座,第一反应基座和第二反应基座沿着水平方向间隔设置。炉体还设有分别连通反应腔的第一进气部、第二进气部和出气部,第一反应基座设于第一进气部和出气部之间,第二反应基座设于第二进气部和出气部之间;反应介质能够分别通过第一进气部和第二进气部进入反应腔,并通过出气部离开反应腔。本申请提供的外延生长装置,解决了现有的外延炉的外延层产出效率过低的问题。
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