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公开(公告)号：CN115036381B
公开(公告)日：2024-09-17
申请号：CN202210580755.8
申请日：2022-05-25
申请人： 浙江晶盛光子科技有限公司
IPC分类号： H01L31/0352 , H01L31/068 , H01L31/18
摘要： 本发明实施例提供了一种P型硅背接触电池和制备方法，属于硅片电池制备技术领域，电池包括：Si衬底，所述Si衬底具体为P型Si衬底；所述Si衬底的反面间隔设置有若干段磷扩散层，且相邻段的磷扩散层之间留设有一空白区；第一掺杂硅层，所述第一掺杂硅层设置有若干段，若干段第一掺杂硅层逐一设置在若干段的磷扩散层上；且所述第一掺杂硅层上方的磷扩散层和Si衬底形成一PN结；第二掺杂硅层，所述第二掺杂硅层设置有若干段，若干段第二掺杂硅层设置在若干个空白区内；以及电极，所述电极设置有若干个，且若干个电极分别电性连接在第一掺杂硅层和第二掺杂硅层上；达到提高P型背接触电池转换效率的技术效果。
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公开(公告)号：CN117542923A
公开(公告)日：2024-02-09
申请号：CN202311604186.7
申请日：2023-11-28
申请人： 浙江晶盛光子科技有限公司
IPC分类号： H01L31/18 , H01L21/677
摘要： 本发明公开了一种软着陆承载座、搬运推舟装置和调平方法，属于光伏设备技术领域。本软着陆承载座软着陆承载座包括框架，所述框架用于安装推舟组件；四组升降组件，设置于所述框架的四周，每组所述升降组件包括顶板、底板、升降驱动件和升降件，所述升降件在升降驱动件驱动下能够相对所述底板靠近或远离，所述升降件与所述框架连接，用于调整所述框架的高度。本发明能够辅助抓舟机械手将石墨舟转运至清洗腔室内，弥补抓舟机械手与推舟组件存在的高度差，不仅保证石墨舟的软着陆，而且使推舟组件可升降，方便对清洗腔室的维修。
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公开(公告)号：CN117012853A
公开(公告)日：2023-11-07
申请号：CN202310954986.5
申请日：2023-07-31
申请人： 浙江晶盛光子科技有限公司
摘要： 本发明提供了一种硅片背抛后的清洗方法和TOPcon电池及其制备方法，属于TOPcon电池技术领域。所述硅片背抛后的清洗方法包括以下步骤：提供背抛后的硅片；用氢氟酸溶液对所述硅片进行酸洗处理，去除所述硅片背面的自然氧化层。通过所述硅片背抛后的清洗方法，可以去除硅片背面的自然氧化层，方便后续在隧穿氧化层沉积工序中均匀地控制隧穿氧化层的厚度，进而可有效地避免直接生长的隧穿氧化层偏厚或均匀性较差的问题，从而提高电池的转换效率。
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公开(公告)号：CN117987811A
公开(公告)日：2024-05-07
申请号：CN202410165329.7
申请日：2024-02-05
申请人： 浙江晶盛光子科技有限公司
IPC分类号： C23C16/511 , C23C16/24 , C23C16/56 , C23C16/455
摘要： 本发明提供一种P‑poly硅的沉积方法与硅片及其应用，所述沉积方法包括顺次进行的PECVD沉积和退火处理；所述PECVD沉积采用的工艺气体包括SiH4和B2H6，稀释气体包括H2和/或Ar，且在沉积过程中伴随着B2H6的气体补偿。本发明通过在PECVD沉积过程中伴随着B2H6的气体补偿，提升了沉积均匀性，避免了高频现象，同时降低了沉积温度，缩短了工艺时间，提升了产能利用率和电池的转换效率，有利于大规模推广应用。
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公开(公告)号：CN117766600A
公开(公告)日：2024-03-26
申请号：CN202311783594.3
申请日：2023-12-22
申请人： 浙江晶盛机电股份有限公司 , 浙江晶盛光子科技有限公司
IPC分类号： H01L31/0224 , H01L31/18 , C23C16/515 , C23C16/56 , C23C16/02 , C23C16/22
摘要： 本发明提供了一种PECVD沉积BSG‑硼源层制备硼发射极的方法及硅片与装置系统，所述方法包括依次进行的硅片预处理、PECVD沉积和热退火处理；其中，所述PECVD沉积的温度为250‑500℃，压力为800‑3000mTorr，工艺气体包括SiH4、B2H6和N2O，稀释气体包括Ar、H2或N2中的任意一种或至少两种的组合。本发明提供的方法特别适用于大尺寸电池在大管径的PECVD设备上沉积BSG，提升了硼掺杂均匀性及掺杂浓度，降低了表面BSG层去除难度，改善了钝化效果，同时简化了工艺流程，提高了生产效率，有利于大规模推广应用。
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公开(公告)号：CN117184852A
公开(公告)日：2023-12-08
申请号：CN202311114290.8
申请日：2023-08-30
申请人： 浙江晶盛光子科技有限公司
摘要： 本发明公开了一种花篮转运系统，包括至少两个升降组件和横向转运组件，至少一个所述升降组件用于实现花篮的上料，至少一个所述升降组件用于实现花篮的下料，且所述升降组件包括位于底部的横向单元；所述横向转运组件设于多个所述升降组件之间并用于实现所述花篮在至少两个所述升降组件之间的转移；所述横向单元可上下移动并具有转运位置和避让位置，在所述转运位置，所述横向单元用于将所述花篮向输送设备转运或转接输送设备输送的所述花篮，在所述避让位置，所述横向单元与所述花篮脱离以使所述横向转运组件可将所述花篮从一个所述升降组件输送至另一个所述升降组件。本发明实施例的花篮转运系统具有花篮转运的可靠性较高的优点。
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公开(公告)号：CN116995138A
公开(公告)日：2023-11-03
申请号：CN202310989578.3
申请日：2023-08-07
申请人： 浙江晶盛光子科技有限公司
IPC分类号： H01L31/18 , H01L31/0216 , H01L31/06
摘要： 本发明涉及太阳能光伏电池技术本领域且公开了一种遂穿氧化层的制备方法、TOPCon电池硅片和TOPCon电池，所述遂穿氧化层的制备方法包括以下步骤：S1、对硅片的背面进行清洗抛光处理；S2、将清洗抛光后的所述硅片放置在工艺腔室内，所述工艺腔室升温至第一预设温度，向所述工艺腔室内通入具有刻蚀作用的第一气体，利用所述第一气体对所述硅片背面的自然氧化层进行刻蚀处理；S3、在所述硅片的背面沉积遂穿氧化层。本发明实施例的遂穿氧化层的制备方法制备的遂穿氧化层具有均匀性好的优点。
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公开(公告)号：CN118610312A
公开(公告)日：2024-09-06
申请号：CN202410808474.2
申请日：2024-06-20
申请人： 浙江晶盛光子科技有限公司
摘要： 本发明提供了一种钝化晶舟和钝化装置，属于钝化设备技术领域，用于钝化电池片的待钝化面，钝化晶舟包括：舟托，舟托的容置腔包括：钝化通道，用以通过钝化气流；小舟容置区，小舟容置区设置有若干个；若干个小舟容置区随钝化气流的运动路线设置在钝化通道的外侧，且若干个小舟容置区围绕钝化通道；和小舟，小舟设置在小舟容置区中；小舟包括舟主体，舟主体设置有一带敞口端面的电池片仓；其中，每个小舟容置区容置若干个小舟，所有小舟容置区中的小舟的敞口端面朝向钝化通道，且待钝化面位于敞口端面处，使得钝化通道的钝化气流作用在电池片的待钝化面上；达到电池片批量钝化均匀的技术效果。
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公开(公告)号：CN117380663A
公开(公告)日：2024-01-12
申请号：CN202311480129.2
申请日：2023-11-07
申请人： 浙江晶盛光子科技有限公司
IPC分类号： B08B7/00
摘要： 本发明公开了一种载片舟清洗装置，属于硅片生产技术领域。载片舟清洗装置包括内壳、外壳和密封组件，所述内壳置于所述外壳内，所述外壳具有第一开口，所述内壳具有反应腔以及与所述反应腔连通的第二开口，待清洗的载片舟在所述反应腔内被清洁气体清洗；所述密封组件包括第一密封件和第二密封件，所述第一密封件用于密封所述第一开口，所述第二密封件用于密封所述第二开口。本发明实施例的载片舟清洗装置具有清洗效率高，采用双腔设计，利用外壳保护内壳，保证内壳的反应腔正常工作；通过密封组件来封堵第一开口和第二开口，达到双重密封的效果，提高了载片舟清洗装置的密封性，避免清洗气体逸出等优点。
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公开(公告)号：CN117374163A
公开(公告)日：2024-01-09
申请号：CN202311548386.5
申请日：2023-11-20
申请人： 浙江晶盛光子科技有限公司
摘要： 本发明属于光伏技术领域，公开了开合装置、炉门以及开合装置用安装调试方法。开合装置包括安装框、第一驱动组件以及第二驱动组件。安装框能沿第一方向滑动，安装框包括两个相对设置的安装架，每个安装架上均沿第二方向滑动连接有连接件，连接件用于与炉门固定连接，第一方向为靠近或远离炉体的方向，第二方向垂直于第一方向；第一驱动组件与安装框连接以驱动安装框沿所述第一方向滑动；第二驱动组件设置于安装框并与连接件连接，以驱动连接件沿第二方向滑动。以此该开合装置在使用时，不仅可以确保操作人员远离炉腔，降低高温对操作人员造成干扰甚至伤害的可能性，同时能够避免炉门在移动过程中与其他结构发生干涉。
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