发明公开
- 专利标题： 一种透明的氮化镓基晶体管及其制备方法
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申请号： CN202210419893.8申请日： 2022-04-21
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公开(公告)号： CN114899232A公开(公告)日： 2022-08-12
- 发明人: 刘志宏 , 赵雪利 , 许淑宁 , 何佳琦 , 邢伟川 , 冯欣 , 杨伟涛 , 周瑾 , 张进成 , 郝跃
- 申请人： 西安电子科技大学广州研究院 , 西安电子科技大学
- 申请人地址： 广东省广州市黄埔区中新知识城海丝中心B5、B6、B7栋;
- 专利权人： 西安电子科技大学广州研究院,西安电子科技大学
- 当前专利权人： 西安电子科技大学广州研究院,西安电子科技大学
- 当前专利权人地址： 广东省广州市黄埔区中新知识城海丝中心B5、B6、B7栋;
- 代理机构： 西安智大知识产权代理事务所
- 代理商 段俊涛
- 主分类号： H01L29/778
- IPC分类号： H01L29/778 ; H01L29/20 ; H01L29/45 ; H01L29/47 ; H01L21/335
摘要：
本发明公开了一种基于氮化镓的透明晶体管及其制备方法，该结构自下而上依次包括衬底层、沟道层、势垒层以及位于势垒层上的电极；其中衬底层采用透明材料，沟道层材料为氮化镓，势垒层材料为镓铝氮或铟镓氮，电极采用透明导电材料。本发明提供了一种氮化镓基晶体管，通过选取可见光区间透明的材料制备晶体管，改善了结构的整体透光率，并提出了可行的制备方法，可将其应用于透明电子学领域。
IPC分类:
