一种透明氮化镓HEMT的欧姆接触制备方法

    公开(公告)号:CN115312378A

    公开(公告)日:2022-11-08

    申请号:CN202211024320.1

    申请日:2022-08-24

    摘要: 本发明公开了一种透明氮化镓HEMT的欧姆接触制备方法,该方法包括:在氮化镓HEMT晶圆上淀积不透明欧姆金属;进行退火,所述不透明欧姆金属与氮化镓HEMT晶圆表面的三族氮化物材料反应,三族氮化物材料中的氮缺失,产生大量氮空位,形成N型重掺杂;用酸洗的方法去除退火后的不透明欧姆金属;淀积透明欧姆接触材料,与具有大量氮空位、形成N型重掺杂的三族氮化物形成良好的欧姆接触。常规氮化镓HEMT制备方法中通过高温退火使金属电极与异质结形成欧姆接触,但是金属电极不透明;而采用透明材料作为电极时,通过高温退火无法与氮化镓HEMT结构形成良好的欧姆接触。本发明可解决该问题,且工艺简单、易于实现,性能良好,效果突出。