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公开(公告)号:CN118782614A
公开(公告)日:2024-10-15
申请号:CN202410855907.X
申请日:2024-06-28
申请人: 西安电子科技大学 , 西安电子科技大学广州研究院
IPC分类号: H01L27/092 , H01L21/8238 , H01L21/363
摘要: 本发明公开了一种基于还原技术实现的SnOx基反相器结构和制备方法。所述SnOx基反相器的器件结构包括:衬底;PMOS沟道层,NMOS沟道层,位于所述衬底上;PMOS漏电极,PMOS栅电极,PMOS源电极,位于所述PMOS沟道层上;NMOS漏电极,NMOS栅电极,NMOS源电极,位于所述NMOS沟道层上;保护介质层,位于所述NMOS沟道层、NMOS漏电极、NMOS源电极、NMOS栅电极上。所述制备方法包括在衬底层上淀积n型SnO2,对部分SnO2进行还原处理,形成SnO,呈现p型特性,进而基于所获得的n型SnO2和p型SnO进行栅、漏、源电极制备,获得SnOx基反相器。本发明的SnOx基反相器工艺步骤简单、制作成本低,性价比较高。
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公开(公告)号:CN114899232A
公开(公告)日:2022-08-12
申请号:CN202210419893.8
申请日:2022-04-21
申请人: 西安电子科技大学广州研究院 , 西安电子科技大学
IPC分类号: H01L29/778 , H01L29/20 , H01L29/45 , H01L29/47 , H01L21/335
摘要: 本发明公开了一种基于氮化镓的透明晶体管及其制备方法,该结构自下而上依次包括衬底层、沟道层、势垒层以及位于势垒层上的电极;其中衬底层采用透明材料,沟道层材料为氮化镓,势垒层材料为镓铝氮或铟镓氮,电极采用透明导电材料。本发明提供了一种氮化镓基晶体管,通过选取可见光区间透明的材料制备晶体管,改善了结构的整体透光率,并提出了可行的制备方法,可将其应用于透明电子学领域。
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公开(公告)号:CN117832261A
公开(公告)日:2024-04-05
申请号:CN202410055963.5
申请日:2024-01-15
申请人: 西安电子科技大学 , 西安电子科技大学广州研究院
IPC分类号: H01L29/423 , H01L29/778 , H01L21/335 , H01L29/06 , H01L29/20
摘要: 一种具有P型GaN栅增强型GaN晶体管结构及其制备方法,其结构包括自下而上依次设置的衬底层、III‑N复合缓冲层、GaN沟道层、III‑N势垒层,在III‑N势垒层上设置有直角梯形P型GaN栅、源电极和漏电极,P型GaN栅顶面设置栅金属电极;方法包括先在衬底层上依次生长III‑N复合缓冲层、GaN沟道层、III‑N势垒层和P型GaN层材料,再制备具有小底切角的光刻胶图案,并刻蚀掉没有光刻胶图案的P型GaN层材料,得到一侧为斜坡的直角梯形P型GaN栅,最后在III‑N势垒层表面制备源电极和漏电极,并在P型GaN栅顶面制备栅金属电极;P型GaN栅实现了增强型工作,且其单端倾斜结构的设计,减少了栅漏之间的局域电场尖峰,从而增强了器件的击穿电压,抑制了器件的电流崩塌效应,提高了器件的可靠性。
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公开(公告)号:CN115312378A
公开(公告)日:2022-11-08
申请号:CN202211024320.1
申请日:2022-08-24
申请人: 西安电子科技大学广州研究院 , 西安电子科技大学
IPC分类号: H01L21/28 , H01L21/335 , H01L29/45 , H01L29/778
摘要: 本发明公开了一种透明氮化镓HEMT的欧姆接触制备方法,该方法包括:在氮化镓HEMT晶圆上淀积不透明欧姆金属;进行退火,所述不透明欧姆金属与氮化镓HEMT晶圆表面的三族氮化物材料反应,三族氮化物材料中的氮缺失,产生大量氮空位,形成N型重掺杂;用酸洗的方法去除退火后的不透明欧姆金属;淀积透明欧姆接触材料,与具有大量氮空位、形成N型重掺杂的三族氮化物形成良好的欧姆接触。常规氮化镓HEMT制备方法中通过高温退火使金属电极与异质结形成欧姆接触,但是金属电极不透明;而采用透明材料作为电极时,通过高温退火无法与氮化镓HEMT结构形成良好的欧姆接触。本发明可解决该问题,且工艺简单、易于实现,性能良好,效果突出。
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公开(公告)号:CN115020490A
公开(公告)日:2022-09-06
申请号:CN202210721823.8
申请日:2022-06-24
申请人: 西安电子科技大学广州研究院 , 西安电子科技大学
IPC分类号: H01L29/778 , H01L29/10 , H01L21/335
摘要: 本发明公开了一种具有非极性沟道的增强型GaN基HEMT器件结构及其制备方法,该结构自下而上依次包括衬底层、缓冲层、沟道层、势垒层以及位于势垒层上的源电极、栅电极和漏电极;其中,沟道层和势垒层具有一台阶,台阶上表面为三族氮化物半导体的极型面,台阶侧面为三族氮化物半导体的非极型面。源电极和漏电极设在台阶上表面,栅电极覆盖台阶侧面。在台阶侧面附近、沟道层和势垒层的界面处,由于三族氮化物半导体非极型面的极化系数很弱,栅电极不加偏压的时候无二维电子气产生,从而得到增强型GaN基HEMT器件。
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公开(公告)号:CN116387344A
公开(公告)日:2023-07-04
申请号:CN202310414231.6
申请日:2023-04-18
申请人: 西安电子科技大学
IPC分类号: H01L29/06 , H01L29/78 , H01L21/336
摘要: 本发明提供一种抗单粒子烧毁的氮化镓基准垂直沟槽MOSFET器件结构及其制造方法,属于半导体功率器件领域。该结构包括:衬底层、缓冲层、漏极重掺杂N+型氮化镓层、低掺杂N‑型氮化镓漂移层、栅下P型氮化镓区、栅下金属、P型基区层、源极重掺杂N+型氮化镓层、P型基区接触金属、栅介质、钝化层、栅电极、源漏电极以及互联金属层。本发明以氮化镓基准垂直结构MOSFET器件为基础,在栅极沟槽底部添加P型氮化镓区域,制备欧姆接触电极将其与源电极连接,在为单粒子入射产生的空穴提供额外的泄露路径,从而降低寄生BJT开启的可能性,提升器件的抗辐射性能,从而使器件更好的适应宇航环境。
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