Invention Publication
- Patent Title: 一种具有GaN/AlGaN异质结的GaN基绝缘栅双极型晶体管
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Application No.: CN202210617969.8Application Date: 2022-06-01
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Publication No.: CN114975622APublication Date: 2022-08-30
- Inventor: 张雄 , 娄智逸 , 田勇 , 胡国华 , 崔一平
- Applicant: 东南大学
- Applicant Address: 江苏省南京市江宁区东南大学路2号
- Assignee: 东南大学
- Current Assignee: 东南大学
- Current Assignee Address: 江苏省南京市江宁区东南大学路2号
- Agency: 南京瑞弘专利商标事务所
- Agent 任志艳
- Main IPC: H01L29/739
- IPC: H01L29/739 ; H01L29/205 ; H01L29/06

Abstract:
本发明的一种具有GaN/AlGaN异质结的GaN基绝缘栅双极型晶体管,包括由下至上依次设置的衬底、成核层、缓冲层和电子阻挡层;在电子阻挡层上表面设置有依次排列的GaN沟道层、p‑GaN通道区、n‑GaN漂移区、p+‑GaN集电区;在所述GaN沟道层上表面设置有Alx1Ga1‑x1N势垒层;在所述p‑GaN通道区和n‑GaN漂移区上表面设置绝缘层;在p+‑GaN集电区上表面设置有阳极。在Alx1Ga1‑x1N势垒层上表面设置阴极,在所述绝缘层上设置栅极,栅极所在区域与p‑GaN通道区相对应。本发明的绝缘栅双极型晶体管高频响应特性更优,可彻底消除存在于传统IGBT中的闩锁效应。
Public/Granted literature
- CN114975622B 一种具有GaN/AlGaN异质结的GaN基绝缘栅双极型晶体管 Public/Granted day:2024-11-08
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IPC分类: