发明公开
- 专利标题: 基于自对准工艺的二维层状薄膜材料异质结光电子器件
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申请号: CN202210386480.4申请日: 2022-04-11
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公开(公告)号: CN115020527A公开(公告)日: 2022-09-06
- 发明人: 龙明生 , 刘至宜 , 单磊
- 申请人: 安徽大学
- 申请人地址: 安徽省合肥市经济技术开发区九龙路111号
- 专利权人: 安徽大学
- 当前专利权人: 安徽大学
- 当前专利权人地址: 安徽省合肥市经济技术开发区九龙路111号
- 代理机构: 南京瑞弘专利商标事务所
- 代理商 陈建和
- 主分类号: H01L31/109
- IPC分类号: H01L31/109 ; H01L31/0352 ; H01L31/032 ; H01L31/0224
摘要:
基于层状材料异质结的光伏探测器,所述的光伏探测器包括在基底上设有自下到上的结构:衬底绝缘层,底电极,包括不同折射率的Ti/Au、Ag、Pt金属电极层和绝缘层AlOx层,绝缘层AlOx层能调节腔体的厚度,金属电极层能与上层的顶电极来形成谐振器;二维层状薄膜层,指n‑p‑n或p‑g‑n型二维层状薄膜材料薄膜层,指起码一个n‑p或p‑n异质结,一个n‑p或p‑n异质结以上的结;金属电极层,源电极层和漏电极层分别设置在所述半导体层上,顶栅电极层设置在顶栅介电绝缘层上。本发明自对准工艺下的二维层状薄膜材料n‑p‑n异质结光探测器,与传统光探测器相比,体积更小,具有低暗电流、高探测效率和宽的探测波段。
IPC分类: