本发明涉及半导体器件生产设备，公开了一种半导体扩散炉石英支架及其精密定位装置，其中半导体扩散炉石英支架包括支架立轴、套设于支架立轴上的支架爪盘，所述支架立轴用于与支架爪盘相配合的一端开设有锥形面，所述支架爪盘上开设有用于供支架立轴带有锥形面的一端嵌入的锥形槽口；本发明分体式的石英支架能够适应炉管横置的扩散炉，使得石英支架能够放入横置的炉管内对晶片进行支撑；而精密定位装置则能够提高支架立轴的加工精度，使得支架立轴在旋转的过程中能够更平稳地带动支架爪盘上的晶片旋转。