-
公开(公告)号：CN113500502B
公开(公告)日：2021-11-30
申请号：CN202111065615.9
申请日：2021-09-13
申请人： 盛吉盛(宁波)半导体科技有限公司 , 盛吉盛精密制造(绍兴)有限公司
摘要： 本申请涉及一种半导体外延石英部件加工砂轮、研磨装置以及磨床，涉及半导体外延石英部件生产的技术领域，包括连接套、通过连接装置可拆卸设置在连接套上的精磨轮和粗磨轮。本申请通过解锁连接装置，然后根据加工要求更换精磨轮和粗磨轮进行更换，提高了对砂轮进行选择时的便利性，也降低了多次更换砂轮的概率，而且在产品加工时，可提前将需要的精磨轮和粗磨轮更换完成，以此来提高了砂轮对产品进行加工时的加工效率。
-
公开(公告)号：CN113500502A
公开(公告)日：2021-10-15
申请号：CN202111065615.9
申请日：2021-09-13
申请人： 盛吉盛(宁波)半导体科技有限公司 , 盛吉盛精密制造(绍兴)有限公司
摘要： 本申请涉及一种半导体外延石英部件加工砂轮、研磨装置以及磨床，涉及半导体外延石英部件生产的技术领域，包括连接套、通过连接装置可拆卸设置在连接套上的精磨轮和粗磨轮。本申请通过解锁连接装置，然后根据加工要求更换精磨轮和粗磨轮进行更换，提高了对砂轮进行选择时的便利性，也降低了多次更换砂轮的概率，而且在产品加工时，可提前将需要的精磨轮和粗磨轮更换完成，以此来提高了砂轮对产品进行加工时的加工效率。
-
公开(公告)号：CN115056369B
公开(公告)日：2024-11-01
申请号：CN202210870221.9
申请日：2022-07-23
申请人： 盛吉盛精密制造(绍兴)有限公司 , 盛吉盛(宁波)半导体科技有限公司
摘要： 本发明涉及半导体器件生产设备，公开了一种半导体扩散炉石英支架及其精密定位装置，其中半导体扩散炉石英支架包括支架立轴、套设于支架立轴上的支架爪盘，所述支架立轴用于与支架爪盘相配合的一端开设有锥形面，所述支架爪盘上开设有用于供支架立轴带有锥形面的一端嵌入的锥形槽口；本发明分体式的石英支架能够适应炉管横置的扩散炉，使得石英支架能够放入横置的炉管内对晶片进行支撑；而精密定位装置则能够提高支架立轴的加工精度，使得支架立轴在旋转的过程中能够更平稳地带动支架爪盘上的晶片旋转。
-
公开(公告)号：CN115056369A
公开(公告)日：2022-09-16
申请号：CN202210870221.9
申请日：2022-07-23
申请人： 盛吉盛精密制造(绍兴)有限公司 , 盛吉盛(宁波)半导体科技有限公司
摘要： 本发明涉及半导体器件生产设备，公开了一种半导体扩散炉石英支架及其精密定位装置，其中半导体扩散炉石英支架包括支架立轴、套设于支架立轴上的支架爪盘，所述支架立轴用于与支架爪盘相配合的一端开设有锥形面，所述支架爪盘上开设有用于供支架立轴带有锥形面的一端嵌入的锥形槽口；本发明分体式的石英支架能够适应炉管横置的扩散炉，使得石英支架能够放入横置的炉管内对晶片进行支撑；而精密定位装置则能够提高支架立轴的加工精度，使得支架立轴在旋转的过程中能够更平稳地带动支架爪盘上的晶片旋转。
-
公开(公告)号：CN215617177U
公开(公告)日：2022-01-25
申请号：CN202122197078.5
申请日：2021-09-13
申请人： 盛吉盛(宁波)半导体科技有限公司 , 盛吉盛精密制造(绍兴)有限公司
摘要： 本申请涉及一种半导体外延石英部件加工组合式砂轮及研磨设备，涉及半导体外延石英部件生产的技术领域，包括连接套、设置在连接套上的若干砂轮本体，若干砂轮本体的目数各不相同且至少设置有两个。本申请通过多个目数相同的砂轮本体分别对半导体石英产品进行加工，因此可以根据不同加工需要完成加工，降低了多次更换砂轮的概率，节省了时间，提高了砂轮对产品的加工效率。
-
公开(公告)号：CN214672563U
公开(公告)日：2021-11-09
申请号：CN202122456478.3
申请日：2021-10-13
申请人： 盛吉盛(宁波)半导体科技有限公司 , 盛吉盛精密制造(绍兴)有限公司
IPC分类号： H01L21/683 , H01L21/687
摘要： 本申请涉及半导体加工技术领域，尤其是涉及一种半导体扩散设备的石英部件加工用定位装夹装置，包括盘体、开设于所述盘体上的第一真空吸孔，所述第一真空吸孔用于与抽真空装置连接；所述第一真空吸孔所在的所述盘体表面凸出设置有凸环，所述凸环与所述盘体形成供工件底部放入的料槽；所述凸环内壁设置有用于抵紧工件侧表面的抵紧组件。本申请利用抽真空装置对第一真空吸孔进行抽真空，在第一真空吸孔内形成负压，利用该负压将半导体石英产品吸附在盘体上，结构简单，在装夹半导体石英产品时能够对良好地对外圆面进行加工。
-
公开(公告)号：CN116766406A
公开(公告)日：2023-09-19
申请号：CN202310748100.1
申请日：2023-06-21
申请人： 盛吉盛精密制造(绍兴)有限公司
IPC分类号： B28D1/00 , B28D1/14 , B28D7/00 , B28D1/18 , B24B19/02 , B28D7/04 , B24B41/06 , B24B55/06 , B28D7/02
摘要： 本发明公开了一种倾斜气孔的加工工艺及其加工设备，包括：步骤S001，气孔进入点加工：计算出加工进入点的坐标；石英下板水平放置，通过数控机床在石英下板上加工出所有的进入点的印记；步骤S002，倾斜气孔加工：石英下板通过气孔加工装置配合所述标记逐一加工出所有的倾斜气孔；步骤S003，导气槽加工：石英下板首先通过铣磨一体装置对远离进入点的端面上加工出导气槽，然后再通过铣磨一体装置对导气槽磨边去毛刺。本发明首先在石英下板上加工出进入点的印记，有效确定倾斜气孔的位置，同时避免钻头滑动，使得倾斜气孔加工准确，在石英下板远离进入点的端面上加工导气槽，可把崩坏的倾斜气孔的出口处消除掉，到达提高石英下板的质量。
-
公开(公告)号：CN115650572A
公开(公告)日：2023-01-31
申请号：CN202211318154.6
申请日：2022-10-26
申请人： 盛吉盛精密制造(绍兴)有限公司
IPC分类号： C03B33/04 , C03B33/027 , C03B33/10
摘要： 本发明涉及半导体设备，公开了一种半导体用石英圆环一次成型加工设备，包括机箱、升降安装于机箱内的升降头、转动安装于升降头上的旋转主轴、固定于旋转主轴上的环切刀头，所述环切刀头包括用于与旋转主轴相连接的连接段、与连接段相固定的外环刀以及内环刀，所述外环刀与内环刀之间呈同心环套设分布；本发明内、外环刀同心分布的双刀头式的环切刀头能够通过一次加工获得同心度较好的石英圆环，既实现石英圆环加工精度的提高，又实现石英圆环加工效率的提升，并且联动形式的锁定机构能够方便快捷地对环切刀头进行拆装，从而提高环切刀头的更换效率。
-
公开(公告)号：CN116694239A
公开(公告)日：2023-09-05
申请号：CN202310603423.1
申请日：2023-05-25
申请人： 盛吉盛精密制造(绍兴)有限公司
IPC分类号： C09J5/02 , B24B37/04 , B24B37/10 , H01L21/683
摘要： 本发明公开了一种非接触式石英吸盘的制作工艺及其加工设备，英吸盘包括片状的吸盘上板和片状的吸盘下板；吸盘下板的上端面上成型有出气流导槽；出气流导槽的底面上成型有若干上下开口的倾斜出气孔；吸盘上板通过无机胶水粘合在吸盘下板的上端面上；石英吸盘加工时首先在吸盘下板的一个表面上加工出气流导槽和倾斜出气孔、在吸盘上板上加工出进气孔，然后通过无机胶水粘合吸盘下板和吸盘上板，最后进行烧结，这样的加工方式气道加工方便，同时吸盘整体的厚度较薄，可以适应狭小的工作环境；同时通过烧结的方式使得吸盘耐高温；无机胶水的使用不光增加了吸盘整体强度，同时无机胶水不会产生小颗粒，避免小颗粒刮伤硅片。
-
公开(公告)号：CN116666297A
公开(公告)日：2023-08-29
申请号：CN202310750191.2
申请日：2023-06-21
申请人： 盛吉盛精密制造(绍兴)有限公司
IPC分类号： H01L21/683
摘要： 本发明公开了一种用于硅片转移的非接触式石英吸盘，两组内侧喷气组位于外侧喷气组和进气孔之间；外侧喷气组包括一对外喷气孔；内侧喷气组包括一对内喷气孔；外侧喷气组的一对外喷气孔相对于石英吸盘本体的对称中心面对称设置；内侧喷气组的一对内喷气孔相对于石英吸盘本体的对称中心面对称设置；中间喷气孔位于靠近进气孔的内侧喷气组的一对内喷气孔的正中间；中间喷气孔的旋转中心轴位于对称中心面上；内喷气孔、外喷气孔和中间喷气孔倾斜设置；外喷气孔自上而下逐渐远离对称中心面和进气孔；内喷气孔自上而下逐渐远离对称中心面且自上而下逐渐靠近进气孔；中间喷气孔自上而下逐渐靠近进气孔。本发明满足硅片转移的所有要求，实现硅片无损转移。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
搜索结果
13 条记录 (耗时 0.074 秒)
