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公开(公告)号：CN115056369B
公开(公告)日：2024-11-01
申请号：CN202210870221.9
申请日：2022-07-23
申请人： 盛吉盛精密制造(绍兴)有限公司 , 盛吉盛(宁波)半导体科技有限公司
摘要： 本发明涉及半导体器件生产设备，公开了一种半导体扩散炉石英支架及其精密定位装置，其中半导体扩散炉石英支架包括支架立轴、套设于支架立轴上的支架爪盘，所述支架立轴用于与支架爪盘相配合的一端开设有锥形面，所述支架爪盘上开设有用于供支架立轴带有锥形面的一端嵌入的锥形槽口；本发明分体式的石英支架能够适应炉管横置的扩散炉，使得石英支架能够放入横置的炉管内对晶片进行支撑；而精密定位装置则能够提高支架立轴的加工精度，使得支架立轴在旋转的过程中能够更平稳地带动支架爪盘上的晶片旋转。
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公开(公告)号：CN113560985B
公开(公告)日：2021-12-14
申请号：CN202111132143.4
申请日：2021-09-27
申请人： 盛吉盛(宁波)半导体科技有限公司 , 盛吉盛精密制造(绍兴)有限公司
摘要： 本发明涉及半导体制造设备，公开了一种半导体石英部件可变径倒角机，包括机架、转动安装于机架上的旋转台，旋转台上开设有多个围绕旋转台中心分布且长度沿旋转台直径方向延伸的滑行槽，滑行槽长度方向的延长线相交于旋转台的转动中心，旋转台上安装有倒角块，倒角块之间分布于同一个圆上并在滑行槽内沿滑行槽的长度方向移动，且在旋转台上设置有用于调节倒角块之间相互距离的调节机构；本发明可调节式的倒角块能够根据待加工石英部件的尺寸变化调整相互之间的距离，从而适应不同尺寸石英部件的倒角需求；而联动机构能够实现倒角块之间的同步进、退，使倒角块之间不管如何调整位置均位于同一个圆上，从而使得石英部件的倒角更加精准。
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公开(公告)号：CN113522860B
公开(公告)日：2021-12-07
申请号：CN202111071443.6
申请日：2021-09-14
申请人： 盛吉盛(宁波)半导体科技有限公司 , 盛吉盛精密制造(绍兴)有限公司
摘要： 本发明涉及半导体加工设备，公开了一种半导体石英部件清洗设备，包括机架、转动安装于机架上且中心带有升降口的摆放台、设置于机架上且位于摆放台一侧的外管壁清洗装置以及升降设置于机架内且位于升降口下方的内管壁清洗装置，所述内管壁清洗装置包括升降台、安装于升降台上的顶喷头和侧喷头，所述顶喷头的出水方向朝向机架上方，所述侧喷头的出水方向朝向机架侧方，且所述侧喷头分布于顶喷头的两侧；本发明顶喷出水的冲洗方式能够让将石英部件上残留的脏污随水流被带走，从而大大提高石英部件的清洗效果，减少水渍的产生。
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公开(公告)号：CN113522860A
公开(公告)日：2021-10-22
申请号：CN202111071443.6
申请日：2021-09-14
申请人： 盛吉盛(宁波)半导体科技有限公司 , 盛吉盛精密制造(绍兴)有限公司
摘要： 本发明涉及半导体加工设备，公开了一种半导体石英部件清洗设备，包括机架、转动安装于机架上且中心带有升降口的摆放台、设置于机架上且位于摆放台一侧的外管壁清洗装置以及升降设置于机架内且位于升降口下方的内管壁清洗装置，所述内管壁清洗装置包括升降台、安装于升降台上的顶喷头和侧喷头，所述顶喷头的出水方向朝向机架上方，所述侧喷头的出水方向朝向机架侧方，且所述侧喷头分布于顶喷头的两侧；本发明顶喷出水的冲洗方式能够让将石英部件上残留的脏污随水流被带走，从而大大提高石英部件的清洗效果，减少水渍的产生。
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公开(公告)号：CN115056369A
公开(公告)日：2022-09-16
申请号：CN202210870221.9
申请日：2022-07-23
申请人： 盛吉盛精密制造(绍兴)有限公司 , 盛吉盛(宁波)半导体科技有限公司
摘要： 本发明涉及半导体器件生产设备，公开了一种半导体扩散炉石英支架及其精密定位装置，其中半导体扩散炉石英支架包括支架立轴、套设于支架立轴上的支架爪盘，所述支架立轴用于与支架爪盘相配合的一端开设有锥形面，所述支架爪盘上开设有用于供支架立轴带有锥形面的一端嵌入的锥形槽口；本发明分体式的石英支架能够适应炉管横置的扩散炉，使得石英支架能够放入横置的炉管内对晶片进行支撑；而精密定位装置则能够提高支架立轴的加工精度，使得支架立轴在旋转的过程中能够更平稳地带动支架爪盘上的晶片旋转。
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公开(公告)号：CN115287628A
公开(公告)日：2022-11-04
申请号：CN202210870217.2
申请日：2022-07-23
申请人： 盛吉盛精密制造(绍兴)有限公司 , 盛吉盛(宁波)半导体科技有限公司
摘要： 本申请涉及一种半导体扩散炉保温桶及其夹取装置，其包括多个由石英玻璃所制成的保温翅片，多个所述保温翅片均同轴且沿所述保温翅片轴向均匀间隔分布，多个所述保温翅片通过连接件连接，所述保温翅片的一侧开设有多个贯穿保温翅片的定位孔，多个所述定位孔沿所述保温翅片周向均匀分布。本申请能够减少制造保温桶所用的材料，具有减少制造保温桶的成本的效果。
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公开(公告)号：CN113500502B
公开(公告)日：2021-11-30
申请号：CN202111065615.9
申请日：2021-09-13
申请人： 盛吉盛(宁波)半导体科技有限公司 , 盛吉盛精密制造(绍兴)有限公司
摘要： 本申请涉及一种半导体外延石英部件加工砂轮、研磨装置以及磨床，涉及半导体外延石英部件生产的技术领域，包括连接套、通过连接装置可拆卸设置在连接套上的精磨轮和粗磨轮。本申请通过解锁连接装置，然后根据加工要求更换精磨轮和粗磨轮进行更换，提高了对砂轮进行选择时的便利性，也降低了多次更换砂轮的概率，而且在产品加工时，可提前将需要的精磨轮和粗磨轮更换完成，以此来提高了砂轮对产品进行加工时的加工效率。
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公开(公告)号：CN113560985A
公开(公告)日：2021-10-29
申请号：CN202111132143.4
申请日：2021-09-27
申请人： 盛吉盛(宁波)半导体科技有限公司 , 盛吉盛精密制造(绍兴)有限公司
摘要： 本发明涉及半导体制造设备，公开了一种半导体石英部件可变径倒角机，包括机架、转动安装于机架上的旋转台，旋转台上开设有多个围绕旋转台中心分布且长度沿旋转台直径方向延伸的滑行槽，滑行槽长度方向的延长线相交于旋转台的转动中心，旋转台上安装有倒角块，倒角块之间分布于同一个圆上并在滑行槽内沿滑行槽的长度方向移动，且在旋转台上设置有用于调节倒角块之间相互距离的调节机构；本发明可调节式的倒角块能够根据待加工石英部件的尺寸变化调整相互之间的距离，从而适应不同尺寸石英部件的倒角需求；而联动机构能够实现倒角块之间的同步进、退，使倒角块之间不管如何调整位置均位于同一个圆上，从而使得石英部件的倒角更加精准。
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公开(公告)号：CN113500502A
公开(公告)日：2021-10-15
申请号：CN202111065615.9
申请日：2021-09-13
申请人： 盛吉盛(宁波)半导体科技有限公司 , 盛吉盛精密制造(绍兴)有限公司
摘要： 本申请涉及一种半导体外延石英部件加工砂轮、研磨装置以及磨床，涉及半导体外延石英部件生产的技术领域，包括连接套、通过连接装置可拆卸设置在连接套上的精磨轮和粗磨轮。本申请通过解锁连接装置，然后根据加工要求更换精磨轮和粗磨轮进行更换，提高了对砂轮进行选择时的便利性，也降低了多次更换砂轮的概率，而且在产品加工时，可提前将需要的精磨轮和粗磨轮更换完成，以此来提高了砂轮对产品进行加工时的加工效率。
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公开(公告)号：CN215578467U
公开(公告)日：2022-01-18
申请号：CN202122101859.X
申请日：2021-09-01
申请人： 盛吉盛(宁波)半导体科技有限公司 , 盛吉盛精密制造(绍兴)有限公司
IPC分类号： H01L21/67
摘要： 本申请涉及一种半导体石英部件取料机，涉及半导体石英部件生产的技术领域，包括机座、工作台，机座上设置有取料装置，取料装置包括滑移座，滑移座滑移安装在机座上；转动杆，转动杆转动设置在滑移座上且设置有用于取料的取料刀；转动组件，转动组件设置在机座上且用于驱动转动杆转动；升降组件，升降组件设置在机座上且用于驱动滑移座移动。本申请通过将原料放置到工作台上，而升降组件和转动组件分别带动转动杆移动和转动对原料进行取料，因此当取料刀需要转动和移动单独进行时，转动组件和升降组件分别进行控制，从而可以根据需要来控制取料刀的移动和转动，提高了取料机取料时的便利性。
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