发明公开
- 专利标题: 一种实时晶圆片表面曲率检测装置及方法
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申请号: CN202210832532.6申请日: 2022-07-15
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公开(公告)号: CN115077424A公开(公告)日: 2022-09-20
- 发明人: 王鹏辉 , 黄文勇 , 倪旭东 , 夏九星 , 李瑞青 , 马铁中
- 申请人: 南昌昂坤半导体设备有限公司 , 昂坤视觉(北京)科技有限公司
- 申请人地址: 江西省南昌市南昌高新技术产业开发区艾溪湖北路688号中兴科技园8号厂房一层;
- 专利权人: 南昌昂坤半导体设备有限公司,昂坤视觉(北京)科技有限公司
- 当前专利权人: 南昌昂坤半导体设备有限公司,昂坤视觉(北京)科技有限公司
- 当前专利权人地址: 江西省南昌市南昌高新技术产业开发区艾溪湖北路688号中兴科技园8号厂房一层;
- 代理机构: 北京清亦华知识产权代理事务所
- 代理商 何世磊
- 主分类号: G01B11/245
- IPC分类号: G01B11/245 ; H01L21/66
摘要:
本发明公开了一种实时晶圆片表面曲率检测装置及方法,本发明采用多个发射波长不同的激光器发射出不同颜色的激光,并通过光路设计,将不同颜色的激光合成为一个合束激光,合束激光投射在被测量晶圆片表面后,形成反射光,反射光再经过设计的光路,形成多个单色激光光束,最终能够使各个PSD位移传感器接收到反射的激光光斑,通过PSD位移传感器监测到的激光光斑的位移变化量,实现被测量晶圆片表面曲率的检测,本发明避免了外延层生长时,反射光干涉对测量的干扰,且本发明能够在高速旋转转盘上实时对晶圆片表面曲率进行准确测量。
公开/授权文献
- CN115077424B 一种实时晶圆片表面曲率检测装置及方法 公开/授权日:2022-11-04