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公开(公告)号：CN115077424B
公开(公告)日：2022-11-04
申请号：CN202210832532.6
申请日：2022-07-15
申请人： 南昌昂坤半导体设备有限公司 , 昂坤视觉(北京)科技有限公司
IPC分类号： G01B11/245 , H01L21/66
摘要： 本发明公开了一种实时晶圆片表面曲率检测装置及方法，本发明采用多个发射波长不同的激光器发射出不同颜色的激光，并通过光路设计，将不同颜色的激光合成为一个合束激光，合束激光投射在被测量晶圆片表面后，形成反射光，反射光再经过设计的光路，形成多个单色激光光束，最终能够使各个PSD位移传感器接收到反射的激光光斑，通过PSD位移传感器监测到的激光光斑的位移变化量，实现被测量晶圆片表面曲率的检测，本发明避免了外延层生长时，反射光干涉对测量的干扰，且本发明能够在高速旋转转盘上实时对晶圆片表面曲率进行准确测量。
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公开(公告)号：CN115077424A
公开(公告)日：2022-09-20
申请号：CN202210832532.6
申请日：2022-07-15
申请人： 南昌昂坤半导体设备有限公司 , 昂坤视觉(北京)科技有限公司
IPC分类号： G01B11/245 , H01L21/66
摘要： 本发明公开了一种实时晶圆片表面曲率检测装置及方法，本发明采用多个发射波长不同的激光器发射出不同颜色的激光，并通过光路设计，将不同颜色的激光合成为一个合束激光，合束激光投射在被测量晶圆片表面后，形成反射光，反射光再经过设计的光路，形成多个单色激光光束，最终能够使各个PSD位移传感器接收到反射的激光光斑，通过PSD位移传感器监测到的激光光斑的位移变化量，实现被测量晶圆片表面曲率的检测，本发明避免了外延层生长时，反射光干涉对测量的干扰，且本发明能够在高速旋转转盘上实时对晶圆片表面曲率进行准确测量。
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公开(公告)号：CN118130060A
公开(公告)日：2024-06-04
申请号：CN202410573305.5
申请日：2024-05-10
申请人： 昂坤视觉(北京)科技有限公司
摘要： 本发明提供了一种光路干扰消除系统，该方法包括：第一光学元件，第一光学元件包括第一端点以及第二端点；第二光学元件，第二光学元件包括第三端点以及第四端点；其中，第三端点高于第一端点第一预设距离，第四端点高于第二端点第二预设距离，且第一光学元件的出射面与第二光学元件的入射面相向倾斜设置，同时在第一光学元件的出射面与第二光学元件的入射面之间形成第一夹角；当检测光束入射至第一光学元件的内部时，通过第一光学元件对检测光束进行全反射，并反射出具有第二夹角的第一出射光线；通过第二光学元件将第一出射光线反射成第二出射光线，并将第二出射光线按照第四夹角入射至CCD的内部。本发明能够有效的提升检测效率。
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公开(公告)号：CN118328894A
公开(公告)日：2024-07-12
申请号：CN202410573328.6
申请日：2024-05-10
申请人： 昂坤视觉(北京)科技有限公司
IPC分类号： G01B11/24
摘要： 本发明提供了一种晶圆翘曲度测量方法及系统，该方法包括：通过偏振分束器将激光器发射出的单束激光划分成至少两束平行激光，并通过第一光学元件将平行激光对应反射至晶圆的表面，其中，平行激光在晶圆的表面形成对应数量的光斑；在平行激光在晶圆的表面形成偶数光斑后，将平行激光依次透过第一光学元件以及第二光学元件，并通过预设反射镜将平行激光对应反射至CCD的视场内；通过平行激光在CCD的视场内形成对应的检测图像，并通过检测图像实时计算出与晶圆对应的翘曲度。本发明能够有效的消除外界因素的干扰，对应提升了测量效率。
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公开(公告)号：CN221707782U
公开(公告)日：2024-09-13
申请号：CN202420355326.5
申请日：2024-02-26
申请人： 南昌昂坤半导体设备有限公司
IPC分类号： G02B7/00
摘要： 本实用新型提供了一种光学元件俯仰角微调机构，包括第一安装座、第二安装座、定位轴、间距调节机构，第一安装座的中部设有第一阶梯轴孔，第二安装座与第一安装座相对设置，第二安装座的中部设有与第一阶梯轴孔位置对应的第二阶梯轴孔，第二安装座远离第一安装座的一侧用于安装光学元件，定位轴设于第一安装座与第二安装座之间，且其两端分别与第一阶梯轴孔和第二阶梯轴孔的大端之间间隙配合，间距调节机构用于调节第一安装座与第二安装座相对端面之间不同位置的间隙，并使第二安装座以定位轴的中轴线为中心相对第一安装座进行偏转。本实用新型能够使光学元件以某一中心点向空间任一方向进行偏转。
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公开(公告)号：CN221684144U
公开(公告)日：2024-09-10
申请号：CN202420354409.2
申请日：2024-02-26
申请人： 南昌昂坤半导体设备有限公司
摘要： 本实用新型提供一种姿态可调的连接装置，包括基座、倾角调节板、安装法兰和连接板，倾角调节板与基座通过转轴活动连接，且基座上螺接有第一调节螺杆，通过调节第一调节螺杆相对于基座的嵌入深度，可调节倾角调节板的倾角；安装法兰转动活动设置于倾角调节板中，连接板与安装法兰连接，使得连接板的倾角与倾角调节板的倾角一致；倾角调节板周侧设置有旋转角调节机构，通过其第二调节螺杆和拨杆驱动安装法兰转动，实现旋转角的调节。本实用新型的姿态可调的连接装置可实现基座和连接板之间的倾角和旋转角的调节，调节精度可靠性，为光学检测的检测精度和可靠性保障提供了便利。
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