一种绝缘栅双极晶体管及其制作方法
摘要:
本发明提供一种绝缘栅双极晶体管及其制作方法,绝缘栅双极晶体管包括:漂移层;阱区,位于所述漂移层内,所述阱区的部分底部表面为凹陷区,所述凹陷区朝向阱区内凹进;源区,位于所述阱区内;载流子存储区,所述载流子存储区的导电类型与所述阱区的导电类型相反,所述载流子存储区的掺杂浓度大于所述漂移层的掺杂浓度,所述载流子存储区围绕所述阱区的侧面且暴露所述凹陷区,所述凹陷区与所述漂移层接触。本发明的绝缘栅双极晶体管在降低通态压降的同时提升了耐压水平。
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