一种球面栅极组件间距的测量方法
摘要:
本发明公开了一种球面栅极组件间距的测量方法,利用密度搜索法区分点云数据中的边缘点和非边缘点,获取边缘点集合E,再利用聚类分析法对边缘点集合E进行分类,获取聚类簇集合C;利用最大距离分析法,根据任意两点之间的距离情况获取每个聚类簇Cl内部点的最大距离分布情况,利用非参数估计法对基于最大距离分布情况拟合得到的概率密度函数进行优化获得最优的区间宽度,进而提取最大距离分布中的特征点,以此组成的区域即为稳定区域,然后对所述稳定区域进行圆孔识别;利用协方差矩阵对各个稳定区域中的圆孔进行上下层圆孔区分,获取上层圆孔的圆心集,再利用坐标变换找到与上层圆孔的圆心集对应的下层圆孔的圆心集,完成栅极组件的间矩测量。
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