- 专利标题： 一种测量干涉图像相位分布的五步相移信号处理光路
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申请号： CN202210872537.1申请日： 2022-07-21
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公开(公告)号： CN115218823B公开(公告)日： 2024-06-11
- 发明人: 陈强华 , 关裕 , 周胜 , 丁锦红 , 孙启国 , 吕洪波 , 何广平 , 司丽娜 , 豆照良
- 申请人： 北方工业大学
- 申请人地址： 北京市石景山区晋元庄路5号
- 专利权人： 北方工业大学
- 当前专利权人： 北方工业大学
- 当前专利权人地址： 北京市石景山区晋元庄路5号
- 代理机构： 北京挺立专利事务所
- 代理商 高福勇
- 主分类号： G01B11/25
- IPC分类号： G01B11/25
摘要：
本发明提供了一种测量干涉图像相位分布的五步相移信号处理光路，包括四分之一波片、透射率为33％的部分反射镜、透射率均为50％的四个半透半反镜、五个偏振片及五个CCD探测器。本发明不需要旋转器件就可在同一时刻获得5个叠加了相等间隔相移的干涉图像，避免了旋转器件法导致的测量时间较长以及由此带来的测量误差，使解算被测物体相位信息的过程更加快速、精度更高。
公开/授权文献
- CN115218823A 一种测量干涉图像相位分布的五步相移信号处理光路 公开/授权日：2022-10-21
