公开(公告)号：CN115218823B

公开(公告)日：2024-06-11

申请号：CN202210872537.1

申请日：2022-07-21

申请人： 北方工业大学

发明人： 陈强华 ,  关裕 ,  周胜 ,  丁锦红 ,  孙启国 ,  吕洪波 ,  何广平 ,  司丽娜 ,  豆照良

IPC分类号： G01B11/25

摘要： 本发明提供了一种测量干涉图像相位分布的五步相移信号处理光路，包括四分之一波片、透射率为33％的部分反射镜、透射率均为50％的四个半透半反镜、五个偏振片及五个CCD探测器。本发明不需要旋转器件就可在同一时刻获得5个叠加了相等间隔相移的干涉图像，避免了旋转器件法导致的测量时间较长以及由此带来的测量误差，使解算被测物体相位信息的过程更加快速、精度更高。

公开(公告)号：CN115218823A

公开(公告)日：2022-10-21

申请号：CN202210872537.1

申请日：2022-07-21

申请人： 北方工业大学

发明人： 陈强华 ,  关裕 ,  周胜 ,  丁锦红 ,  孙启国 ,  吕洪波 ,  何广平 ,  司丽娜 ,  豆照良

IPC分类号： G01B11/25

摘要： 本发明提供了一种测量干涉图像相位分布的五步相移信号处理光路，包括四分之一波片、透射率为33％的部分反射镜、透射率均为50％的四个半透半反镜、五个偏振片及五个CCD探测器。本发明不需要旋转器件就可在同一时刻获得5个叠加了相等间隔相移的干涉图像，避免了旋转器件法导致的测量时间较长以及由此带来的测量误差，使解算被测物体相位信息的过程更加快速、精度更高。

公开(公告)号：CN115541203A

公开(公告)日：2022-12-30

申请号：CN202211322616.1

申请日：2022-10-27

申请人： 北方工业大学

发明人： 陈强华 ,  关裕 ,  邵多 ,  刘福铭 ,  吕洪波 ,  孙启国 ,  司丽娜 ,  何广平

IPC分类号： G01M11/02

摘要： 本发明提供了一种楔形双折射器件相位延迟量测量光路及测量方法，其光路结构包括分光镜、半波片、第一聚焦透镜、反射镜，还包括缩束单元、四分之一波片及第二聚焦透镜；入射光经所述分光镜后被分为透射光和反射光，沿此反射光前进方向依次设有第一偏振片、第一光电探测器，沿此反射光前进方向的反向依次设有第二偏振片、第二光电探测器；沿透射光前进方向依次设有所述缩束单元、半波片、待测双折射器件、第一聚焦透镜、四分之一波片、第二聚焦透镜、反射镜。本发明可以测量楔形结构以及具有变化楔角斜面、曲面或其他出射表面不平行于入射表面结构的双折射器件的相位延迟量，且光路结构简单，测量方法简单方便。