公开(公告)号：CN115218823B

公开(公告)日：2024-06-11

申请号：CN202210872537.1

申请日：2022-07-21

申请人： 北方工业大学

发明人： 陈强华 ,  关裕 ,  周胜 ,  丁锦红 ,  孙启国 ,  吕洪波 ,  何广平 ,  司丽娜 ,  豆照良

IPC分类号： G01B11/25

摘要： 本发明提供了一种测量干涉图像相位分布的五步相移信号处理光路，包括四分之一波片、透射率为33％的部分反射镜、透射率均为50％的四个半透半反镜、五个偏振片及五个CCD探测器。本发明不需要旋转器件就可在同一时刻获得5个叠加了相等间隔相移的干涉图像，避免了旋转器件法导致的测量时间较长以及由此带来的测量误差，使解算被测物体相位信息的过程更加快速、精度更高。

公开(公告)号：CN115218823A

公开(公告)日：2022-10-21

申请号：CN202210872537.1

申请日：2022-07-21

申请人： 北方工业大学

发明人： 陈强华 ,  关裕 ,  周胜 ,  丁锦红 ,  孙启国 ,  吕洪波 ,  何广平 ,  司丽娜 ,  豆照良

IPC分类号： G01B11/25

摘要： 本发明提供了一种测量干涉图像相位分布的五步相移信号处理光路，包括四分之一波片、透射率为33％的部分反射镜、透射率均为50％的四个半透半反镜、五个偏振片及五个CCD探测器。本发明不需要旋转器件就可在同一时刻获得5个叠加了相等间隔相移的干涉图像，避免了旋转器件法导致的测量时间较长以及由此带来的测量误差，使解算被测物体相位信息的过程更加快速、精度更高。