电压钳位的超结器件及制造方法
摘要:
本申请涉及半导体领域,提供一种电压钳位的超结器件及制造方法。所述超结器件包括有源区和终端区,所述有源区包括源极、栅极和体区,所述终端区包括截止环区,所述终端区集成有平板电容结构和电阻结构,所述平板电容结构与所述电阻结构串联连接构成RC吸收电路;所述RC吸收电路与源极和截止环区相连,用于对超结器件的漏源电压进行电压钳位。本申请在超结器件的终端区集成RC吸收电路,将器件漏源电压钳位在安全电压值范围内,可以减缓器件电压电流振铃,防止器件因过压击穿而损坏;充分利用超结器件终端区芯片面积,不需要额外占用超结器件有源区面积,不会引起超结器件其它参数的退化,提高系统的集成度和可靠性。
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