发明公开
- 专利标题： 一种在MgO衬底上制备高质量Fe3O4薄膜的方法
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申请号： CN202211089065.9申请日： 2022-09-07
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公开(公告)号： CN115323319A公开(公告)日： 2022-11-11
- 发明人: 陆显扬 , 张哲 , 徐永兵 , 严羽 , 何亮
- 申请人： 南京大学
- 申请人地址： 江苏省南京市鼓楼区汉口路22号
- 专利权人： 南京大学
- 当前专利权人： 南京大学
- 当前专利权人地址： 江苏省南京市鼓楼区汉口路22号
- 代理机构： 南京瑞弘专利商标事务所
- 代理商 陈建和
- 主分类号： C23C14/02
- IPC分类号： C23C14/02 ; C23C14/08 ; C23C14/35
摘要：
本发明公开了一种在MgO(001)衬底上制备高质量Fe3O4(001)薄膜的方法，使用磁控溅射装置在MgO(001)衬底上制备高质量Fe3O4(001)薄膜，安装靶材，获得腔体真空；衬底预处理；预溅射；溅射沉积薄膜；所述步骤1)中，使用高纯Fe即纯度大于99.95％靶材，腔体真空度达到1×10‑8Torr以上；溅射时衬底温度保持在300℃，样品台旋转速度5rpm，打开样品台挡板开始沉积薄膜，根据溅射的时间控制沉积薄膜的厚度；射频电源功率为50W。
IPC分类:
