一种横向同质异质结存储器器件及制备方法
摘要:
本发明涉及一种横向同质异质结存储器器件及制备方法,存储器器件包括:衬底栅层、第一介质层、第二介质层、二维半导体沟道层和欧姆电极,其中,第一介质层和第二介质层均位于衬底栅层上,且第一介质层和第二介质层相接触;二维半导体沟道层位于第一介质层和第二介质层上;欧姆电极位于二维半导体沟道层的两端。该存储器器件通过复合介质层对二维半导体沟道层进行介质调控和静电栅调控,使得同质材料中形成横向异质结,形成的横向异质结截面处于第一介质层和第二介质层的交界处,且形成的横向异质结界面只有一条线,减少了界面处的缺陷,并且由于是采用同种材料形成的异质结,所以不存在不同材料间的晶格失配问题,提高了存储器电学性能。
IPC分类:
H 电学
H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件(使用半导体器件的测量入G01;一般电阻器入H01C;磁体、电感器、变压器入H01F;一般电容器入H01G;电解型器件入H01G9/00;电池组、蓄电池入H01M;波导管、谐振器或波导型线路入H01P;线路连接器、汇流器入H01R;受激发射器件入H01S;机电谐振器入H03H;扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R;一般电光源入H05B;印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K;在具有特殊应用的电路中使用的半导体器件见应用相关的小类)
H01L27/00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件(其零部件入H01L23/00,H01L29/00至H01L51/00;由多个单个固态器件组成的组装件入H01L25/00)
H01L27/02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27/04 ..其衬底为半导体的
H01L27/10 ...在重复结构中包括有多个独立组件的
H01L27/105 ....包含场效应组件的
H01L27/112 .....只读存储器结构的
H01L27/115 ...... · · · · ·电动编程只读存储器;其多步骤制造方法
H01L27/11585 ....... · · · · · · 具有包括用于铁电存储器特性的层的栅电极,例如,MFS (金属-铁电体-半导体)或 MFMIS (金属-铁电体-金属-绝缘体-半导体)
H01L27/1159 ........ · · · · · · ·以存储器核心区为特征的
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