发明公开
- 专利标题： 用于在薄衬底搬运期间防止碎裂的混合式接触指
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申请号： CN202180032145.8申请日： 2021-04-12
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公开(公告)号： CN115485421A公开(公告)日： 2022-12-16
- 发明人: 斯蒂芬·J·巴尼克 , 约翰·弗洛伊德·奥斯特罗夫斯基 , 布莱恩·巴卡柳 , 罗伯特·拉什 , 孟·伟·爱德温·吴 , 桑托斯·库马尔 , 弗雷德里克·迪恩·威尔莫特
- 申请人： 朗姆研究公司
- 申请人地址： 美国加利福尼亚州
- 专利权人： 朗姆研究公司
- 当前专利权人： 朗姆研究公司
- 当前专利权人地址： 美国加利福尼亚州
- 代理机构： 上海胜康律师事务所
- 代理商 李献忠; 张华
- 优先权： 63/018,039 20200430 US
- 国际申请： PCT/US2021/026782 2021.04.12
- 国际公布： WO2021/221887 EN 2021.11.04
- 进入国家日期： 2022-10-31
- 主分类号： C25D17/00
- IPC分类号： C25D17/00 ; C25D7/12 ; H01L21/288
摘要：
一种用于在衬底电镀系统中提供对衬底的电气连接的接触件包含：具有弓形形状的主体。所述主体的所述弓形形状被配置成符合布置于所述衬底电镀系统的唇形密封件和杯件上的衬底的至少一部分的形状。多个第一接触指从所述主体延伸第一距离。多个第二接触指从所述主体延伸第二距离。所述第一距离大于所述第二距离。
