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公开(公告)号：CN115803480A
公开(公告)日：2023-03-14
申请号：CN202280005381.5
申请日：2022-01-19
申请人： 朗姆研究公司
发明人： 斯蒂芬·J·巴尼克二世 , 加布里埃尔·海·格拉哈姆 , 布莱恩·L·巴卡柳 , 罗伯特·拉什 , 蔡利平 , 弗雷德里克·迪恩·威尔莫特 , 林倩倩
IPC分类号： C25D5/08
摘要： 一种用于电镀设备的离子电阻性离子可渗透元件包含用以在电镀期间调整接近衬底的流体动力环境的肋状物。在一个实施方案中，离子电阻性离子可渗透元件包含至少与衬底的镀覆面共同延伸的槽形部分，以及从槽形部分的面向衬底表面朝向衬底延伸的多个肋状物。肋状物包含具有完整最大高度的第一多个肋状物和具有比完整最大高度更小的最大高度的第二多个肋状物。在一个实施方案中，具有较小最大高度的肋状物安置成使得肋状物的最大高度在从元件的一个边缘到元件的中心的方向上逐渐增加。
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公开(公告)号：CN115485421A
公开(公告)日：2022-12-16
申请号：CN202180032145.8
申请日：2021-04-12
申请人： 朗姆研究公司
发明人： 斯蒂芬·J·巴尼克 , 约翰·弗洛伊德·奥斯特罗夫斯基 , 布莱恩·巴卡柳 , 罗伯特·拉什 , 孟·伟·爱德温·吴 , 桑托斯·库马尔 , 弗雷德里克·迪恩·威尔莫特
IPC分类号： C25D17/00 , C25D7/12 , H01L21/288
摘要： 一种用于在衬底电镀系统中提供对衬底的电气连接的接触件包含：具有弓形形状的主体。所述主体的所述弓形形状被配置成符合布置于所述衬底电镀系统的唇形密封件和杯件上的衬底的至少一部分的形状。多个第一接触指从所述主体延伸第一距离。多个第二接触指从所述主体延伸第二距离。所述第一距离大于所述第二距离。
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公开(公告)号：CN114341404A
公开(公告)日：2022-04-12
申请号：CN202080062180.X
申请日：2020-09-02
申请人： 朗姆研究公司
发明人： 弗雷德里克·迪恩·威尔莫特 , 罗伯特·拉什 , 尼马尔·尚卡尔·西格玛尼 , 加布里埃尔·格拉哈姆
摘要： 一种处理衬底的单元包括至少一个室壁、膜框架和膜。至少一个室壁布置成在衬底的保持器下方形成腔体。膜框架设置在至少一个室壁上并横跨腔体。膜由膜框架支撑并将第一电解质与第二电解质隔开。膜包括从腔体的中心以相对于参考平面的角度径向向外延伸的表面，并且其中该角度大于或等于0°且小于或等于3°。
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公开(公告)号：CN114341404B
公开(公告)日：2024-11-08
申请号：CN202080062180.X
申请日：2020-09-02
申请人： 朗姆研究公司
发明人： 弗雷德里克·迪恩·威尔莫特 , 罗伯特·拉什 , 尼马尔·尚卡尔·西格玛尼 , 加布里埃尔·格拉哈姆
摘要： 一种处理衬底的单元包括至少一个室壁、膜框架和膜。至少一个室壁布置成在衬底的保持器下方形成腔体。膜框架设置在至少一个室壁上并横跨腔体。膜由膜框架支撑并将第一电解质与第二电解质隔开。膜包括从腔体的中心以相对于参考平面的角度径向向外延伸的表面，并且其中该角度大于或等于0°且小于或等于3°。
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公开(公告)号：CN115867696A
公开(公告)日：2023-03-28
申请号：CN202280005335.5
申请日：2022-04-14
申请人： 朗姆研究公司
发明人： 格雷戈里·J·卡恩斯 , 雅各布·柯蒂斯·布利肯斯德弗 , 凯拉什·文卡特拉曼 , 弗雷德里克·迪恩·威尔莫特 , 蔡利平 , 罗伯特·拉什
IPC分类号： C25D21/04
摘要： 溶解气体浓度可以通过在电镀溶液通过接触器之后，控制所述接触器内的压力，从而将所述电镀溶液中溶解气体浓度保持在第一浓度范围内来控制。所述第一浓度范围是非零且亚饱和的。
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