发明授权
- 专利标题： 一种碳化硅外延电气控制设备
-
申请号： CN202211353252.3申请日： 2022-11-01
-
公开(公告)号： CN115586812B公开(公告)日： 2023-10-31
- 发明人: 文成 , 郭锐涛 , 牧青 , 李宝 , 张迎春
- 申请人： 江苏汉印机电科技股份有限公司
- 申请人地址： 江苏省盐城市高新技术产业区凤凰南路18号
- 专利权人： 江苏汉印机电科技股份有限公司
- 当前专利权人： 江苏汉印机电科技股份有限公司
- 当前专利权人地址： 江苏省盐城市高新技术产业区凤凰南路18号
- 代理机构： 盐城平易安通知识产权代理事务所
- 代理商 刘敏
- 主分类号： G05G5/02
- IPC分类号： G05G5/02 ; C30B29/36 ; C30B35/00
摘要：
本发明涉及碳化硅加工领域，具体的说是一种碳化硅化学气相沉淀系统供气装置，包括基架、调控板、控制屏、控制键、调位机构和手柄；本发明解决了传统的碳化硅外延电气控制设备，其显示控制设备往往为固定式安装，在工作过程中难以跟随反应进程及工作人员侧操控观察方位进行适应性调整，增加了工作人员的观测及操控距离，降低了对碳化硅反应进程进行操控的迅捷程度，也降低了对碳化硅反应进程的操控精确性的问题。
公开/授权文献
- CN115586812A 一种碳化硅外延电气控制设备 公开/授权日：2023-01-10