发明公开
- 专利标题: 一种钳位电压可选的横向穿通型SiC-TVS器件
-
申请号: CN202211138213.1申请日: 2022-09-19
-
公开(公告)号: CN115632056A公开(公告)日: 2023-01-20
- 发明人: 韩超 , 苑广安 , 汤晓燕 , 王东 , 吴勇 , 陈兴 , 黄永
- 申请人: 西安电子科技大学芜湖研究院
- 申请人地址: 安徽省芜湖市弋江区高新技术产业开发区科技产业园7号楼
- 专利权人: 西安电子科技大学芜湖研究院
- 当前专利权人: 西安电子科技大学芜湖研究院
- 当前专利权人地址: 安徽省芜湖市弋江区高新技术产业开发区科技产业园7号楼
- 代理机构: 西安嘉思特知识产权代理事务所
- 代理商 王丹
- 主分类号: H01L29/06
- IPC分类号: H01L29/06 ; H01L29/861
摘要:
本发明涉及一种钳位电压可选的横向穿通型SiC‑TVS器件,包括碳化硅衬底层、外延层基区、正电极和若干负电极,外延层基区内包括有两个端部发射区扩展区、若干个中间发射区扩展区、两个端部发射区以及若干个中间发射区,外延层基区、端部发射区扩展区和中间发射区扩展区为轻掺杂,端部发射区和中间发射区为重掺杂;碳化硅衬底层、端部发射区扩展区、中间发射区扩展区、端部发射区和中间发射区为第一导电类型,外延层基区为第二导电类型,第一导电类型和第二导电类型相反。本发明在平面NPN或PNP穿通结构的基区表面横向插入若干个N+或P+发射区,通过优化发射区结构参数和基区浓度,在单管TVS芯片上实现更宽范围的钳位电压选择。
IPC分类: