本发明提供了一种工艺质量分析方法、装置及可读存储介质，涉及工艺质量管控技术领域。所述工艺质量分析方法包括：获取多晶硅生产工序中的至少一个工艺参数的运行数据；对所述运行数据进行筛选，获得筛选后的运行数据；根据筛选后的运行数据，对所述多晶硅生产工序进行工艺质量分析，得到工艺质量分析结果；其中，所述工艺质量分析为以下至少一项：过程能力分析；方差分析；试验设计分析；可靠性分析；多变量分析。本发明的方案能够对多晶硅生产工序中的工艺参数进行分析，从而为多晶硅的质量提升奠定基础。