一种多晶硅生产废水处理系统

    公开(公告)号:CN213652165U

    公开(公告)日:2021-07-09

    申请号:CN202021801721.X

    申请日:2020-08-25

    IPC分类号: C02F9/10

    摘要: 本实用新型公开一种多晶硅生产废水处理系统,包括预处理单元、反渗透单元、以及蒸发结晶单元,所述预处理单元,用于去除多晶硅生产废水中的悬浮物、二氧化硅、以及二氧化碳;所述反渗透单元,与所述预处理单元连通,用于对预处理单元输出的废液进行浓缩分离,以回收废液中的水分,得到高盐废水和回收产水;所述蒸发结晶单元,与所述渗透单元连通,用于对渗透单元分离出的高盐废水进行蒸发浓缩,以分离出水分和盐成份。本实用新型可有效降低废水处理的能耗,提高水回收率。

    多晶硅生产副产物的高效回收设备与工艺

    公开(公告)号:CN103626186A

    公开(公告)日:2014-03-12

    申请号:CN201310580560.4

    申请日:2013-11-19

    IPC分类号: C01B33/107

    摘要: 本发明涉及反应精馏技术领域,在改良西门子法生产多晶硅工艺中,目前将副产物二氯二氢硅和四氯化硅转化为三氯化硅的工艺,存在转化率低,四氯化硅循环量大,设备投资大,能耗高,为了克服这些问题,本发明采用从四氯化硅精馏塔采出气相四氯化硅与二氯二氢硅换热后将它们作为原料进入反应精馏塔进行反应,反应精馏塔反应段设置有三节催化剂层组成的固定床,原料在催化剂作用下反应,四氯化硅从塔釜出来经冷却器冷却后进入反应段催化剂层进行循环回流,塔顶三氯氢硅气体经一级冷凝后得到液体三氯氢硅产品,不凝的气相二氯二氢硅经二级冷凝后进入反应段回流循环,本发明具有设备简单,反应面积大,投资少,能耗低,反应转化率高的有益效果。

    一种多晶硅生产中的低沸氯硅烷的分离系统

    公开(公告)号:CN106554020B

    公开(公告)日:2019-04-05

    申请号:CN201510638804.9

    申请日:2015-09-30

    IPC分类号: C01B33/107 C01B33/021

    摘要: 本发明公开了一种多晶硅生产中的低沸氯硅烷的分离系统,包括分隔壁精馏塔,分离系统还包括:反歧化固定床,反歧化固定床与分隔壁精馏塔连接,反歧化固定床用于装填催化剂催化进行二氯二氢硅和四氯化硅的反歧化反应,反应得到的产物进入分隔壁精馏塔。本发明中的多晶硅生产中的低沸氯硅烷分离系统将催化剂装填于单独成立的反歧化固定床内,更换简单且无需停运分隔壁精馏塔,可以使用两台反歧化固定床,实行一开一备使用,即使更换催化剂,生产仍可继续进行,且经过更换后的催化剂内部几乎不含有氯硅烷,更换过程安全。本发明中的分离系统中,催化剂装填于独立于分隔壁精馏塔外的反歧化固定床内,提高了分隔壁精馏塔的温度和压力的调节使用范围。

    一种多晶硅生产中的低沸氯硅烷的分离系统

    公开(公告)号:CN106554020A

    公开(公告)日:2017-04-05

    申请号:CN201510638804.9

    申请日:2015-09-30

    IPC分类号: C01B33/107 C01B33/021

    摘要: 本发明公开了一种多晶硅生产中的低沸氯硅烷的分离系统,包括分隔壁精馏塔,分离系统还包括:反歧化固定床,反歧化固定床与分隔壁精馏塔连接,反歧化固定床用于装填催化剂催化进行二氯二氢硅和四氯化硅的反歧化反应,反应得到的产物进入分隔壁精馏塔。本发明中的多晶硅生产中的低沸氯硅烷分离系统将催化剂装填于单独成立的反歧化固定床内,更换简单且无需停运分隔壁精馏塔,可以使用两台反歧化固定床,实行一开一备使用,即使更换催化剂,生产仍可继续进行,且经过更换后的催化剂内部几乎不含有氯硅烷,更换过程安全。本发明中的分离系统中,催化剂装填于独立于分隔壁精馏塔外的反歧化固定床内,提高了分隔壁精馏塔的温度和压力的调节使用范围。

    多晶硅生产工艺中含有氯硅烷的尾气的处理装置

    公开(公告)号:CN105327600A

    公开(公告)日:2016-02-17

    申请号:CN201410390226.7

    申请日:2014-08-08

    摘要: 本发明公开了一种多晶硅生产工艺中含有氯硅烷的尾气的处理装置,包括:尾气储罐,用于收集并储存多晶硅生产工艺中含有氯硅烷的尾气;工业水一级淋洗塔,与尾气储罐连接,工业水一级淋洗塔用于将输入的多晶硅生产工艺中含有氯硅烷的尾气进行工业水一级淋洗;碱液二级淋洗塔,与工业水一级淋洗塔连接,碱液二级淋洗塔用于将经过工业水一级淋洗塔淋洗过的尾气进行碱液二级淋洗。通过工业水一级淋洗塔内的工业水一级淋洗后,在塔顶聚集氯化氢、氮气和氢气,再通过碱液二级淋洗塔,吸收掉氯化氢,整个装置封闭,得到处理后的可以直接排放的尾气。该装置不仅能有效降低氯化氢对周边环境的腐蚀,还解决了人工捞渣问题,保证了生产的平稳长周期运行。

    多晶硅生产副产物的高效回收设备与工艺

    公开(公告)号:CN103626186B

    公开(公告)日:2015-09-02

    申请号:CN201310580560.4

    申请日:2013-11-19

    IPC分类号: C01B33/107

    摘要: 本发明涉及反应精馏技术领域,在改良西门子法生产多晶硅工艺中,目前将副产物二氯二氢硅和四氯化硅转化为三氯化硅的工艺,存在转化率低,四氯化硅循环量大,设备投资大,能耗高,为了克服这些问题,本发明采用从四氯化硅精馏塔采出气相四氯化硅与二氯二氢硅换热后将它们作为原料进入反应精馏塔进行反应,反应精馏塔反应段设置有三节催化剂层组成的固定床,原料在催化剂作用下反应,四氯化硅从塔釜出来经冷却器冷却后进入反应段催化剂层进行循环回流,塔顶三氯氢硅气体经一级冷凝后得到液体三氯氢硅产品,不凝的气相二氯二氢硅经二级冷凝后进入反应段回流循环,本发明具有设备简单,反应面积大,投资少,能耗低,反应转化率高的有益效果。