一种多晶硅系统中还原炉的清洗方法及装置

    公开(公告)号:CN115672831A

    公开(公告)日:2023-02-03

    申请号:CN202211346172.5

    申请日:2022-10-31

    IPC分类号: B08B3/00

    摘要: 本发明提供了一种多晶硅系统中还原炉的清洗方法及装置,涉及多晶硅生产技术领域。该方法包括:对还原炉的待清洗部件进行检测,确定所述待清洗部件上杂质的成分;根据所述杂质的成分,确定所述清洗部件的目标清洗方案;根据所述目标清洗方案,对所述待清洗部件进行清洗。本发明实施例的多晶硅系统中还原炉的清洗方法,能够根据所述待清洗部件表面杂质的成分不同,采用不同的清洗方案对所述带清洗部件进行清洗,能够提高清洗的效果,进而提高还原炉的洁净度,降低多晶硅表面杂质的含量,提高多晶硅的质量。解决了现有技术中只针对成品车间的产品流程进行操作及环境洁净度的监控,无法彻底解决多晶硅表金属含量较高的问题。

    一种多晶硅质量控制评价方法及装置

    公开(公告)号:CN115586756A

    公开(公告)日:2023-01-10

    申请号:CN202211345920.8

    申请日:2022-10-31

    IPC分类号: G05B19/418

    摘要: 本发明提供了一种多晶硅质量控制评价方法及装置,涉及多晶硅质量控制技术领域。该方法包括获取多晶硅生产系统的生产参数信息,所述生产参数信息包括一下至少一项:所述多晶硅生产系统在预设时间段内的原料输入量,以及,多晶硅生产过程中所述多晶硅生产系统的过程能力指数、半成品的合格率、杂质粒子数量;根据所述生产参数信息,得到所述多晶硅质量控制的评价结果。本发明的方案,根据多晶硅生产系统的生产参数信息,从多晶硅生产的各个流程对多晶硅的质量控制进行评价,提升了多晶硅生产系统的稳定性。解决了多晶硅的质量控制主要集中于冷氢化工序以及原料工序等物料及气系统进行生产的优化控制,对多晶硅的质量控制不完善且不稳定的问题。

    一种硅产品流程信息管理的控制方法及管理系统

    公开(公告)号:CN115630840A

    公开(公告)日:2023-01-20

    申请号:CN202211413773.3

    申请日:2022-11-11

    摘要: 本申请提供了一种硅产品流程信息管理的控制方法及管理系统,涉及硅产品信息管理技术领域,其中,方法包括:接收生产目标硅产品的所有工位录入的工位流程信息,存入内部数据库中与目标硅产品对应的全流程信息中,并得到与全流程信息对应的目标标签;在对外数据库中复制全流程信息中的至少部分流程信息;当接收到扫码设备发送的数据请求时,根据该数据请求确定扫码设备对应的目标用户等级;根据目标用户等级,从对外数据库中获取与目标用户等级对应的部分流程信息,并发送至扫码设备。本申请的实施例实现了硅产品流程信息的匹配互联,便于进行流程追溯,同时在满足内部生产相关人员和客户获取流程信息的需求,且有利于保证数据的安全。

    一种气相二氧化硅表面改性的装置

    公开(公告)号:CN204699684U

    公开(公告)日:2015-10-14

    申请号:CN201520414913.8

    申请日:2015-06-16

    CPC分类号: Y02P70/34

    摘要: 本实用新型公开了一种气相二氧化硅表面改性的装置,该装置包括:反应器,其用于气相二氧化硅和表面改性剂接触反应对气相二氧化硅进行表面改性;脱附器,所述脱附器入口与所述反应器出口连接,脱附器用于脱附掉表面改性剂、二氧化碳和极性小分子物质。通过本实用新型中的气相二氧化硅表面改性的装置可以有效的对反应器内经过表面改性的气相二氧化硅进行脱附收集,同时有效回收未参加反应的表面改性剂,得到了更加优异性能的经过表面改性的气相二氧化硅,减少了气相二氧化硅、表面改性剂的浪费,降低生产成本,提高了表面改性剂的利用率,增强了表面改性剂的利用率,提高了气相二氧化硅表面改性的效率以及产品的稳定性。

    多晶硅生产过程中产生的高温废氮气的回收利用装置

    公开(公告)号:CN204281317U

    公开(公告)日:2015-04-22

    申请号:CN201420491705.3

    申请日:2014-08-28

    发明人: 高静 陈朝霞

    IPC分类号: C01B21/04

    摘要: 本实用新型提供一种多晶硅生产过程中产生的高温废氮气的回收利用装置,包括:过滤单元,其输入端接入高温废氮气,其输出端与冷却单元的输入端相连,用于去除高温废氮气中的固体颗粒杂质,并将已去除固体颗粒杂质的高温废氮气输出至冷却单元;冷却单元,其输出端与吸附单元的第一输入端相连,用于对已去除固体颗粒杂质的高温废氮气进行降温处理,并将低温废氮气输出至吸附单元;吸附单元,其输出端与氮气用户相连,其内填装有吸附剂,用于去除低温废氮气中的气体杂质,并将纯化后的低温氮气输出至氮气用户。本实用新型所述回收利用装置不但能有效回收利用高温废氮气中的氮气,还能有效降低高温废氮气对环境的污染。