发明公开
- 专利标题: 真实自由基处理的远程等离子体架构
-
申请号: CN202180045823.4申请日: 2021-09-21
-
公开(公告)号: CN115720681A公开(公告)日: 2023-02-28
- 发明人: 巴德里·瓦拉达拉简 , 亚伦·德宾 , 邱华檀 , 龚波 , 雷切尔·E·巴策尔 , 戈皮纳特·布海马拉塞蒂 , 亚伦·布莱克·米勒 , 帕特里克·G·布莱琳 , 杰弗里·霍恩
- 申请人: 朗姆研究公司
- 申请人地址: 美国加利福尼亚州
- 专利权人: 朗姆研究公司
- 当前专利权人: 朗姆研究公司
- 当前专利权人地址: 美国加利福尼亚州
- 代理机构: 上海胜康律师事务所
- 代理商 李献忠; 张华
- 优先权: 63/084,541 20200928 US
- 国际申请: PCT/US2021/051179 2021.09.21
- 国际公布: WO2022/066593 EN 2022.03.31
- 进入国家日期: 2022-12-27
- 主分类号: H01J37/32
- IPC分类号: H01J37/32
摘要:
一种喷头包括第一部件、第二部件和第三部件。所述第一部件包括盘状部分以及从所述盘状部分垂直延伸的圆柱形部分。所述盘状部分包括分别具有第一直径和第二直径的第一组孔洞和第二组孔洞,其中所述第一组孔洞和所述第二组孔洞从所述盘状部分的中心延伸至所述圆柱形部分的所述内直径。第二部件是盘状的,并且与所述第一部件的所述盘状部分附接且限定出与所述第二组孔洞流体连通的充气室,所述第二部件包括沿着所述顶表面的周缘且位于所述顶表面的相对端上的成对的弧形凹槽,以及在所述成对的弧形凹槽之间延伸的多个凹槽。所述第三部件是盘状的且附接至所述第二部件,并且包括与所述充气室连接的气体输入口、以及与弧形凹槽连接的流体输入口以及流体输出口。