基于Ge2Sb2Te5的红外隐身与辐射散热薄膜及其制备方法
摘要:
本发明属于材料制备技术领域,具体涉及基于Ge2Sb2Te5的红外隐身与辐射散热薄膜及其制备方法。本发明的红外隐身与辐射调控选择性发射薄膜材料为Ni和Ge2Sb2Te5,衬底为高纯硅片。选择性发射薄膜包含为Ni/晶态Ge2Sb2Te5/Ni/非晶态Ge2Sb2Te5四层结构,中间层晶态Ge2Sb2Te5通过沉积后退火得到。该结构可同时实现在3‑5、8‑13μm的“大气窗口”区间低发射,和在窗口外5‑8μm的高发射,同时实现了隐身和散热的双功能效果。
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