一种基于亚波长结构的小型化狭缝波导模式转换器件，包括SOI基体和集成于SOI基体上表面的波导模式转换装置；所述波导模式转换装置以SOI基体长度方向的中心线轴对称分布；所述波导模式转换装置包括沿光路依次连接的条形输入波导、带有微刻蚀结构的模式转换波导和狭缝输出波导；输入所述条形输入波导的光场模斑表现为高斯模式，经由模式转换波导时，受到微刻蚀结构的调制从而转换至狭缝波导模式，被调制为狭缝波导模式的光进一步耦合至狭缝输出波导中，并最终输出所述小型化狭缝波导模式转换器件。本发明实现了极低损耗的条形波导‑狭缝波导间模式转换与传输，在条形波导与狭缝波导之间建立平滑的连接。