发明公开
- 专利标题: 一种LED芯片巨量转移用测转实时共位的检测装置
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申请号: CN202211548336.2申请日: 2022-12-05
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公开(公告)号: CN115763319A公开(公告)日: 2023-03-07
- 发明人: 刘强 , 王和标 , 焦飞腾 , 王伟 , 马宁 , 牛萍娟 , 桑建
- 申请人: 北京石油化工学院 , 北京海炬电子科技有限公司
- 申请人地址: 北京市大兴区黄村清源北路19号;
- 专利权人: 北京石油化工学院,北京海炬电子科技有限公司
- 当前专利权人: 北京石油化工学院,北京海炬电子科技有限公司
- 当前专利权人地址: 北京市大兴区黄村清源北路19号;
- 代理机构: 北京凯特来知识产权代理有限公司
- 代理商 郑立明; 赵镇勇
- 主分类号: H01L21/67
- IPC分类号: H01L21/67 ; H01L21/68 ; H01L25/075
摘要:
本发明公开了一种LED芯片巨量转移用测转实时共位的检测装置,由芯片转移系统、对位系统和光学检测系统三部分组成,芯片转移系统包括:平台底座、立柱支座、激光头立柱、激光头纵向锁紧环、激光头固定座、激光头横向底板、激光头导轨、激光头连接板和激光头;对位系统包括:芯片载板支撑台、芯片载板对位平台、芯片载板组件、目标基板对位平台垫板、目标基板对位平台和目标基板;光学检测系统包括:检测底板、检测装置立柱、万向支架组件、调焦组件和检测相机组件。本发明利用成对正交安装的CCD工业相机,检测激光头在光源照射下两条投影线反向延长交点,通过识别投影交点、目标晶位和芯片三者间是否共线,实现芯片测转实时共位,提升了芯片效率。