公开(公告)号：CN116072573A

公开(公告)日：2023-05-05

申请号：CN202310161990.6

申请日：2023-02-21

申请人： 北京石油化工学院 ,  北京海炬电子科技有限公司

发明人： 刘强 ,  张梦杰 ,  李衡 ,  王伟 ,  牛萍娟 ,  桑建

IPC分类号： H01L21/67 ,  H01L21/683 ,  H01L33/00

摘要： 本发明公开了一种跟踪稳距气动巨量转移装置，主要由目标基板载台系统、源基板载台系统和气动稳距系统组成，目标基板载台系统主要包括：大理石底座、支座、目标基板运动台、目标基板治具和目标基板；源基板载台系统主要包括：源基板运动台、源基板真空吸盘和源基板；气动稳距系统主要包括：立柱、电机安装板、高度调节伺服电机、连接板、气动器固定座、气动器、微调平台、表头安装底板、测量表和红宝石测针。本发明使用跟踪稳距技术保证气动器工作位与源基板间距始终恒定，消除了气动器与源基板间距波动对工作气体的影响，实现气动巨量转移装置转移芯片时作用于晶膜上的气体状态的一致性，提高了芯片转移精度和转移良率。

公开(公告)号：CN115763319A

公开(公告)日：2023-03-07

申请号：CN202211548336.2

申请日：2022-12-05

申请人： 北京石油化工学院 ,  北京海炬电子科技有限公司

发明人： 刘强 ,  王和标 ,  焦飞腾 ,  王伟 ,  马宁 ,  牛萍娟 ,  桑建

IPC分类号： H01L21/67 ,  H01L21/68 ,  H01L25/075

摘要： 本发明公开了一种LED芯片巨量转移用测转实时共位的检测装置，由芯片转移系统、对位系统和光学检测系统三部分组成，芯片转移系统包括：平台底座、立柱支座、激光头立柱、激光头纵向锁紧环、激光头固定座、激光头横向底板、激光头导轨、激光头连接板和激光头；对位系统包括：芯片载板支撑台、芯片载板对位平台、芯片载板组件、目标基板对位平台垫板、目标基板对位平台和目标基板；光学检测系统包括：检测底板、检测装置立柱、万向支架组件、调焦组件和检测相机组件。本发明利用成对正交安装的CCD工业相机，检测激光头在光源照射下两条投影线反向延长交点，通过识别投影交点、目标晶位和芯片三者间是否共线，实现芯片测转实时共位，提升了芯片效率。

公开(公告)号：CN115547906A

公开(公告)日：2022-12-30

申请号：CN202211325831.7

申请日：2022-10-27

申请人： 北京海炬电子科技有限公司 ,  北京石油化工学院

发明人： 刘强 ,  马宁 ,  陈云喆 ,  牛萍娟 ,  曹世楠

IPC分类号： H01L21/677

摘要： 本发明公开了一种单轨柱面可侧倾磁悬浮天车，主要由天车动子系统、吊箱和轨道定子系统三部分组成，天车动子系统主要包括：天车、导向轮、柱面天车永磁体、柱面电机动子、限位轴承和升降皮带；吊箱主要包括：箱体支撑座、直线电机、托盘挡销和托盘；轨道定子系统主要包括：圆柱轨道和柱面轨道永磁体。通过柱壳气隙结构，实现轨道天车大角度侧倾，利用侧倾阻尼吸收振动，保障轨道天车平稳运行，采用柱面天车永磁体和柱面电机动子共用柱面轨道永磁体，实现悬浮、驱动、导向的融合，提高了磁场利用率，降低使用成本，特别适用于洁净、超静的高端芯片工作环境。