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公开(公告)号：CN114999988A
公开(公告)日：2022-09-02
申请号：CN202210520697.X
申请日：2022-05-13
申请人： 北京石油化工学院 , 北京海炬电子科技有限公司
摘要： 本发明公开了一种基于微孔介质气化原晶膜的巨量转移装置，主要由原晶膜载台系统、基板载台系统和激光视觉系统组成。原晶膜载台系统主要包括：支撑座、上纵向导轨、原晶膜纵向移动台组件、上光栅尺、上光栅尺读数头、原晶膜横向移动台组件、原晶膜角度调节台组件、连接板、上横向电机、上纵向电机、原晶膜和芯片；基板载台系统主要包括：基板横向移动台组件、基板、基板纵向移动台组件、下光栅尺、下光栅尺读数头、下纵向电机和下纵向导轨；激光视觉系统主要包括：工业CCD相机和激光器。本发明利用微孔介质气化进行芯片转移，具有高可控性，高转移精度，工作温度友好，对芯片的损伤小，无污染，且晶膜可重复使用。
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公开(公告)号：CN115939010A
公开(公告)日：2023-04-07
申请号：CN202310180141.5
申请日：2023-02-15
申请人： 北京石油化工学院 , 北京海炬电子科技有限公司
IPC分类号： H01L21/68 , H01L21/677 , H01L33/00
摘要： 本发明公开了一种巨量转移用三自由度混合支撑平台，由上X方向机械轨道系统、Y方向磁悬浮系统和下机械轨道系统三部分组成，上X方向机械轨道系统主要包括：大理石平台、支撑横梁、支撑横梁挡板、上X方向电机定子和上X方向导轨；Y方向磁悬浮系统主要包括：玻璃板传送架组件和玻璃板载台组件；下机械轨道系统主要包括：底座运动平台滑动导轨、底座电机定子、底座运动平台和基板传送架组件。本发明采用机械+磁浮混合构型，通过机械导轨实现目标焊点与芯片的X向行对位，利用磁浮系统实现芯片的Y向列快速机动，既有机械构型大行程、控制系统简单的优势，又具备磁浮构型高精度、快响应的特点，极大提高了芯片与焊点的对位速度和精度。
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公开(公告)号：CN115763319A
公开(公告)日：2023-03-07
申请号：CN202211548336.2
申请日：2022-12-05
申请人： 北京石油化工学院 , 北京海炬电子科技有限公司
IPC分类号： H01L21/67 , H01L21/68 , H01L25/075
摘要： 本发明公开了一种LED芯片巨量转移用测转实时共位的检测装置，由芯片转移系统、对位系统和光学检测系统三部分组成，芯片转移系统包括：平台底座、立柱支座、激光头立柱、激光头纵向锁紧环、激光头固定座、激光头横向底板、激光头导轨、激光头连接板和激光头；对位系统包括：芯片载板支撑台、芯片载板对位平台、芯片载板组件、目标基板对位平台垫板、目标基板对位平台和目标基板；光学检测系统包括：检测底板、检测装置立柱、万向支架组件、调焦组件和检测相机组件。本发明利用成对正交安装的CCD工业相机，检测激光头在光源照射下两条投影线反向延长交点，通过识别投影交点、目标晶位和芯片三者间是否共线，实现芯片测转实时共位，提升了芯片效率。
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公开(公告)号：CN115479080A
公开(公告)日：2022-12-16
申请号：CN202211227122.5
申请日：2022-10-09
申请人： 北京海炬电子科技有限公司 , 北京石油化工学院
IPC分类号： F16C32/04
摘要： 本发明公开了一种激光巨量转移装置用三自由度洛伦兹磁轴承，由转移系统、动子系统和定子系统三部分组成，转移系统主要包括：相机、激光头、源基板、芯片、目标基板、真空治具；动子系统主要包括：台面、光电码盘、外动子组件和内动子组件；定子系统主要包括：支撑座、洛伦兹磁轴承定子组件、轴向位移传感器支架、轴向位移传感器、万向滚珠保护轴承。针对激光巨量转移中主动承接芯片的需求，通过端部磁动势强化与局部倾斜充磁，在增强了轴承气隙磁密的同时，改善了气隙轴向磁密均匀性，促使目标基板实现轴向平动和绕X/Y方向偏转高精度悬浮和高带宽机动，有利于芯片转移过程中主动调整芯片的高度和角度，提高了芯片转移效率、精度和良率。
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公开(公告)号：CN115547906A
公开(公告)日：2022-12-30
申请号：CN202211325831.7
申请日：2022-10-27
申请人： 北京海炬电子科技有限公司 , 北京石油化工学院
IPC分类号： H01L21/677
摘要： 本发明公开了一种单轨柱面可侧倾磁悬浮天车，主要由天车动子系统、吊箱和轨道定子系统三部分组成，天车动子系统主要包括：天车、导向轮、柱面天车永磁体、柱面电机动子、限位轴承和升降皮带；吊箱主要包括：箱体支撑座、直线电机、托盘挡销和托盘；轨道定子系统主要包括：圆柱轨道和柱面轨道永磁体。通过柱壳气隙结构，实现轨道天车大角度侧倾，利用侧倾阻尼吸收振动，保障轨道天车平稳运行，采用柱面天车永磁体和柱面电机动子共用柱面轨道永磁体，实现悬浮、驱动、导向的融合，提高了磁场利用率，降低使用成本，特别适用于洁净、超静的高端芯片工作环境。
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公开(公告)号：CN115107527A
公开(公告)日：2022-09-27
申请号：CN202210504459.X
申请日：2022-05-10
申请人： 北京石油化工学院
摘要： 本发明公开了一种浮驱一体磁悬浮曲线运动轨道小车，主要由轨道系统和小车系统两部分组成，轨道系统主要包括：梯形凹槽轨道、保护导轨、永磁导轨和绝缘支架；小车系统包括：车体支架组件、电机动子、自润滑关节轴承、载物箱连接座、载物箱和锂电池。本发明提出了一种浮驱一体磁悬浮曲线运动轨道小车，采用车体下斜侧面的永磁体和电机动子共用轨道上斜侧面永磁导轨实现悬浮与驱动的融合，通过车体下斜侧面的永磁体和轨道上斜侧面的永磁导轨实现五自由度非接触被动悬浮。具有浮驱一体，悬浮不耗电，无固体多余物和机械噪音的优点，特别适用于制药无菌无尘车间、芯片加工厂、大型医院等场所。
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公开(公告)号：CN114709163A
公开(公告)日：2022-07-05
申请号：CN202210327336.3
申请日：2022-03-30
申请人： 北京石油化工学院
IPC分类号： H01L21/683 , H01L33/00
摘要： 本发明公开了一种液气双态Mini/Micro LED芯片巨量转移用晶膜及制作方法，包括衬底、介质存储网格、液气双态介质、密封胶、弹力层和粘结层；借助液气双态介质易升温且沸点低和粘结层受热后粘性显著降低的特性，采用与液气双态介质吸收图谱相匹配的激光穿过衬底照射液气双态介质使之气化产生气泡，推动芯片转移至目标基板，实现芯片的巨量转移。与现有热释放和烧蚀释放相比，能够在友好环境温度和不产生污染物的条件下，实现晶膜的重复利用和芯片的高精度巨量转移。
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公开(公告)号：CN114701363A
公开(公告)日：2022-07-05
申请号：CN202210434320.2
申请日：2022-04-24
申请人： 北京石油化工学院
摘要： 本发明公开了一种被动磁悬浮轨道小车，主要由轨道系统和小车系统两部分组成，轨道系统主要包括：梯形凹槽轨道、保护导轨、永磁导轨、电机定子、供电导轨和绝缘支架；小车系统包括：车体支架组件、电机动子支撑板、电机动子、集电器组件、车体转轴支架组件、锁销轴、载物箱悬挂臂和载物箱。本发明提出了一种利用同极性永磁体斥力实现五自由度非接触支撑的被动悬浮轨道小车，消除了机械接触噪音和固体多余物的产生，具有结构简单、悬浮不耗电、快速运行中涡流损耗低、设备运行功耗低、悬浮不产生电磁干扰的优点，特别适用于制药无菌无尘车间、芯片加工厂、大型医院等场所。
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公开(公告)号：CN114560106A
公开(公告)日：2022-05-31
申请号：CN202210303108.2
申请日：2022-03-25
申请人： 北京石油化工学院
摘要： 本发明公开了一种六自由度全主动控制洛伦兹吊舱，包括动子系统和定子系统，动子系统包括：舱体、轴向平动径向偏转磁轴承动子、球面电机动子组件、光电码盘动子光栅；定子系统包括：轴向平动径向偏转磁轴承定子组件、球面电机定子组件、径向支座、光电码盘读数头、径向球面磁轴承定子组件、轴向支座、轴向位移传感器、偏转位移传感器、径向位移传感器。通过位移检测点与磁轴承平动控制点共位的六自由度全主动控制洛伦兹吊舱，消除了传感器与磁轴承转换矩阵引起的误差，提升了航天器相机成像质量。此外，采用球面旋转电机控制吊舱动子方位，可实现360°方位角主动调整能力，进一步提升了相机对地观测机动成像质量。
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公开(公告)号：CN114743914A
公开(公告)日：2022-07-12
申请号：CN202210340107.5
申请日：2022-04-01
申请人： 北京石油化工学院
IPC分类号： H01L21/68 , H01L21/683 , H01L33/00 , B23K26/57
摘要： 本发明公开了一种基于复合式支撑平台的激光剥离巨量转移设备，由激光相机系统、玻璃板传送系统和基板传送系统三部分组成，激光相机系统主要包括大理石平台、激光相机支撑梁、相机组件、激光头和光源；玻璃板传送系统主要包括：支座、直线电机、限位板、玻璃板传送架组件、上光栅尺和玻璃板载台组件；基板传送系统主要包括：下光栅尺、基板传送架直线电机、限位块、基板传送架组件、固定板组件、光栅尺和磁力支撑调节平台。借助激光剥离芯片至目标焊点，采用机械导轨实现基板和玻璃板快速宏运动对准，利用磁力支撑调节平台实现基板与玻璃板高精度快速微调整对准，两者共同作用，提升了芯片转移速度和转移良品率。
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