一种大厚度高效沉积铜合金电解液及沉积方法
摘要:
本发明提供一种大厚度高效沉积铜合金电解液及沉积方法。本发明方法,所述电解液的配方包含铜离子源、络合剂、晶粒细化剂和阳极活化剂;所述铜离子源为冰醋酸铜、柠檬酸铜中的一种或两种;所述络合剂为醋酸铵、柠檬酸铵、三乙醇胺中的一种;所述晶粒细化剂为聚丙烯酸钠;所述阳极活化剂为氯化铵。沉积方法中采用上述电解液进行沉积。采用本发明提供的电解液进行沉积的沉积速率增长了一倍以上;沉积厚度提高3~5倍以上,铜沉积层硬度更高,摩擦系数更小,磨损量更低。
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